Gebraucht YASKAWA 5010 #293652550 zu verkaufen

YASKAWA 5010
Hersteller
YASKAWA
Modell
5010
ID: 293652550
Robot.
YASKAWA 5010 ist ein Wafer-Handler von YASKAWA Electric für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist ein Roboterarm-basierter Wafer-Handler, der für eine Vielzahl von Prozessaufgaben geeignet ist. Es ist in der Lage, Wafer in Größen von 200mm bis 600mm zu übertragen, mit einem Transfer von bis zu 250 Wafern pro Stunde für 200mm und 150 Wafer pro Stunde für 300mm. Es ist mit 3 linearen Achsen ausgestattet, die eine präzise und genaue Bewegung seiner Komponenten ermöglichen, um eine präzise Handhabung der Wafer zu gewährleisten. 5010 besteht aus einem Aluminiumrahmen und einer Drei-Linearachse, die von hochpräzisen Servomotoren angetrieben wird. Es verfügt über ein Vision-System, um die Position und Orientierung des Wafers zu erkennen und zu verfolgen. Das Vision-System kann verschiedene Prozesse korrigieren und eine präzise Platzierung der Wafer gewährleisten. Seine präzise Wafer Handhabung Fähigkeiten sind durch seine extrem schnelle Reaktion mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit. Auch YASKAWA 5010 kann sich sowohl in der Linear- als auch in der Drehachse sehr schnell bewegen. Sein Controller ist SPS-basiert und benutzerfreundlich und einfach konfigurierbar. 5010 hat auch einen effizienten und kontrollierten Vakuumspannmechanismus. Dieses Merkmal sorgt für einen sicheren Halt des Wafers und sorgt dafür, dass die Waferoberflächen nicht beschädigt werden. Darüber hinaus trägt der Vakuumspannmechanismus zur präzisen und genauen Übertragung der Wafer bei. Es kann auch verwendet werden, um die Temperatur zu steuern und eine optimale Arbeitsumgebung während der Waferbearbeitung bereitzustellen. Die erweiterten Sicherheitsfunktionen von YASKAWA 5010 sind ebenfalls bemerkenswert. Es verfügt über einen Soft-Touch-EEPROM-Speicher zur Datenspeicherung, der eine sichere Handhabung kritischer Prozessdaten ermöglicht. Mit seiner benutzerfreundlichen GUI-Schnittstelle ist es einfach, den Betrieb von 5010 einzurichten und zu steuern. Es verfügt auch über Selbstdiagnosefunktionen, um Fehler leicht zu isolieren und zu beheben. Zusammenfassend ist YASKAWA 5010 ein zuverlässiger und effizienter Wafer-Handler, der für eine Vielzahl von Prozessaufgaben geeignet ist und zur Handhabung von Wafern in Größen von 200mm bis 600mm verwendet werden kann. Es verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen, ein Vision-System und einen präzisen Spannmechanismus, der die genaue und zuverlässige Handhabung der Wafer gewährleistet. Darüber hinaus ist sein Controller benutzerfreundlich und konfigurierbar, so dass er einfach zu bedienen ist.
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