Gebraucht YASKAWA CACR-PR01 #193015 zu verkaufen

YASKAWA CACR-PR01 ist ein Hochgeschwindigkeits-Wafer-Handler für Halbleiterherstellungsprozesse. Es ist mit einer fortschrittlichen Servokontrollausrüstung für hochpräzise Wafer-Positioniergenauigkeit und schnelle, gestenbasierte Bedienung konzipiert. CACR-PR01 integriert zwei hochpräzise DC-Servomotoren, einen zeitsparenden Ymaster-Controller und einen benutzerfreundlichen Touchscreen, um ein zuverlässiges Wafer-Handling-System bereitzustellen. YASKAWA CACR-PR01 ist in der Lage, bis zu 200 Wafer mit 3-4 "Durchmesser mit einem maximalen Gewicht von 100 Gramm zu handhaben. Es verfügt über eine integrierte Auf- und Entladestation, die einen sicheren und einfachen Transfer auf eine einzige Kassette ermöglicht. CACR-PR01 umfasst eine ganze Reihe von Bewegungen, einschließlich Neigung, Schwenken und Drehen, zur genauen Positionierung und Orientierung von Wafern. Der Bewegungsbereich weist die berührungslose lineare Achse mit einer hochpräzisen Auflösung von 0,0025 mm bzw. 0,008 Grad auf. YASKAWA CACR-PR01 ist mit einem hochauflösenden, LED-hinterleuchteten farbigen LCD-Touchscreen für eine einfache Bedienung ausgestattet. Die grafische Benutzeroberfläche bietet schnellen Zugriff auf Programme und Menüs und ermöglicht schnelle Einrichtungs- und Einheitenänderungen. Erweiterte Diagnosen bieten Feedback für verbesserte Wafer-Handhabungsprozesse. CACR-PR01 verfügt auch über SPS/NC-Kompatibilität sowie die Möglichkeit, Daten über Ethernet an die SPS zu streamen. YASKAWA CACR-PR01 enthält eine Reihe von Sicherheitsfunktionen für mehr Sicherheit. Es kann Waferüberlauf oder Freigabe von Wafern von der Aufzug-/Laststation sowie plötzliche Stoß- oder Lastunterschiede erkennen und stoppt den Betrieb sofort. Darüber hinaus verfügt CACR-PR01 auch über Sicherheitsmomentbegrenzer an den DC-Servomotoren, die mögliche Schäden aufgrund einer Überdrehmomentsituation verhindern. YASKAWA CACR-PR01 ist speziell für die Verarbeitung zeitempfindlicher Wafer-Fertigungsprozesse konzipiert und kann Wafer schnell zwischen Prozesszyklen bewegen. Die fortschrittliche Bewegungssteuerungsmaschine bietet eine stabile und zuverlässige Waferbewegung. Darüber hinaus ermöglicht die einfach zu bedienende grafische Oberfläche eine einfache Bewegungssteuerung und eine hochpräzise Waferorientierung. Dies bietet im Vergleich zu herkömmlichen Wafer-Handling-Systemen eine verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus umfasst CACR-PR01 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die für Sicherheit beim Umgang mit Wafern sorgen.