Gebraucht YASKAWA XU-RC350D-J03 #293615372 zu verkaufen

YASKAWA XU-RC350D-J03 ist ein Wafer-Handler für den zuverlässigen Transport, Neigung und Spin-Wafer für die Halbleiterverarbeitung und Wafer-Sondierung. Diese Maschine ist speziell für 300mm und 200mm Wafergrößen gemacht. Es hat eine vertikale oder horizontale Konfiguration und verfügt über eine feste Schüssel mit 360 ° Drehfähigkeit. XU-RC350D-J03 basiert auf einer Tischbewegungsausrüstung und einem Schalenbewegungssystem. Es ist in der Lage, jeweils einen Wafer zu handhaben und gleichzeitig einen wiederholbaren Kipp- und Schleuderbetrieb zu ermöglichen. Die Tischbewegungseinheit verfügt über eine vertikale Bewegung von bis zu 900mm, 0,01 mm Positioniergenauigkeit und 10mm/sec Hochgeschwindigkeitsbewegung. Die Schüsselbewegungsmaschine hat volle 360 ° Drehfähigkeit mit einer Wiederholbarkeit von 0,25 ° und einer maximalen Beschleunigung von 250 °/s2. YASKAWA XU-RC350D-J03 ist mit einer automatischen Zentriervorrichtung ausgestattet, um die Zonengröße der Waferposition entsprechend dem Prozess einzustellen. Die Maschine kann auch mit einer Waferkassette zur Lagerung und automatischen Beladung von Wafern konfiguriert werden. XU-RC350D-J03 ist sowohl langlebig als auch energieeffizient. Es hat einen weiten Temperaturbereich für die Waferbearbeitung von -5 ° C bis 90 ° C und kann innerhalb eines atmosphärischen Druckbereichs von 0.7MPa bis 1.1MPa arbeiten. Es verfügt über ein integriertes Diagnosetool für präventive Wartung und externe Netzwerkkommunikationsfunktionen über Ethernet, Power over Ethernet und/oder USB. YASKAWA XU-RC350D-J03 hat eine kompakte und leichte Konstruktion, so dass es einfach innerhalb der Produktionslinien zu installieren. Es ist auch so konzipiert, dass es sehr ergonomisch und benutzerfreundlich ist, mit intuitiver Programmierung und Bedienung, um die Lernkurve zu reduzieren. XU-RC350D-J03 ist ein All-in-One-Wafer-Handler, der zuverlässige Bedienung und Flexibilität für eine Vielzahl von Prozessen bietet.