Gebraucht BOC EDWARDS System #9038519 zu verkaufen
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BOC EDWARDS Equipment ist ein Wafer- und Maskenwäscher, der entwickelt wurde, um eine Vielzahl von Oberflächenverunreinigungen von Halbleiterscheiben und -masken effizient zu reinigen. Das System umfasst eine Reihe von Strahlsprays, Heißwassertanks und chemischen Konzentratoren, die Leitungswasser in entionisiertes Wasser umwandeln. Es kann bis zu 20 Wafer oder 12 Masken gleichzeitig reinigen, mit einer Reinigungszykluszeit von weniger als 17 Minuten. BOC EDWARDS Unit beginnt mit einem Jet Spray Area mit bis zu 10 Reinigungsdüsen. Dieser Bereich wurde entwickelt, um alle Arten von Schmutz, Körnung, Staub und anderen Oberflächenresten vollständig zu entfernen. Die Wafer und Masken laufen unter dem Strahlspray, die sorgfältig entworfen sind, um eine maximale Abdeckung zu gewährleisten. Nach dem Jet Spray Area ist ein automatisierter Warmwassertank. Dies dient zur weiteren Reinigung und Abspülung von verbleibenden Rückständen. Dieser Behälter ist auch mit einer Umwälzwasserpumpe ausgestattet, um die chemische Konzentration im Wasser kontinuierlich zu verschwinden. Die Maschine fährt dann zu einem chemischen Konzentrator, wo ultrafiltriertes Leitungswasser in chemiefreies, entionisiertes Wasser umgewandelt wird. Dieses Wasser wird vorgewärmt und dann wieder in den Warmwassertank gepumpt. Von dort werden die Wafer und Masken zum Luftmessertrockner transportiert. Dieser Trockner verwendet Hochgeschwindigkeits-kontinuierliche Luftströme, um die Wafer und Masken gründlich zu trocknen, so dass sie frei von Feuchtigkeit. Die letzte Stufe im BOC EDWARDS Tool ist das Ozonspülmodul. Dieses Modul führt Ozon (O3) in Asset ein, das als Antibeschlagmittel wirkt und gleichzeitig eine zusätzliche Sauberkeitsschicht bietet. Es zerstört Bakterien und organische Verbindungen und bietet zusätzliche sanitäre Vorteile. Um Sicherheit und Effizienz beim Betrieb des BOC EDWARDS Modells zu gewährleisten, ist ein programmierbarer Logikcontroller (SPS) enthalten. Dies ermöglicht eine einfache Fehlerbehebung, eine automatisierte Datenerfassungsausrüstung und eine einfache Fernüberwachung. Um die Sicherheit weiter zu erhöhen, verfügt das BOC EDWARDS System auch über eine integrierte Computersteuerung für Alarm- und Override-Funktionen. BOC EDWARDS Machine ist ein effizienter, zuverlässiger und einfach zu bedienender Wafer- und Maskenwäscher für eine Vielzahl von Anwendungen. Durch die Kombination einer Reihe von leistungsstarken Strahlsprays, Heißwassertanks, chemischen Konzentratoren und einem Ozonspülmodul ist Tool in der Lage, bis zu 20 Wafer oder 12 Masken in weniger als 17 Minuten zu reinigen und dabei unnötige Rückstände zu vermeiden. Darüber hinaus bietet die automatisierte On-Board-Computersteuerung eine zusätzliche Sicherheitsschicht und erleichtert die Fehlerbehebung und Fernüberwachung.
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