Gebraucht BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401143 zu verkaufen

ID: 9401143
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2006
Load port, 6" 2006 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload TM ist ein Wafer & Maskenwäscher, der entwickelt wurde, um den Herausforderungen physikalischer Defekte an Halbleiterscheiben und -masken zu begegnen, was zu verbesserten Erträgen für Chiphersteller führt. Dieser innovative und kostengünstige Wäscher bietet eine Vielzahl von Funktionen und Funktionen, die eine effizientere Reinigung und keine Kontamination der Wafer und Masken ermöglichen. Die Maschine besteht aus einem Schrubbdeck mit einem Überkopf, mäandrierenden Kreisverkehr. Das Deck dient als Substrathalter und der Kreisverkehr ist das Fahrzeug für deren Reinigung und Trocknung. Dieses nützliche Merkmal hilft, die Anzahl der Kontaktpunkte zu reduzieren, die eine Kontamination mit dem Substrat verursachen können, was zu längeren Reinigungszeiten führt. Das Hauptwaschmodul enthält zwei unabhängige Waschzonen, die zur gleichzeitigen Beseitigung physikalischer Defekte auf beiden Seiten der Substratoberfläche ausgelegt sind. Dies trägt dazu bei, einheitliche Oberflächeneigenschaften zu gewährleisten und eventuelle Verunreinigungen auf dem Wafer oder der Maske zu entfernen. Die Fixload-Ausrüstung verwendet leistungsstarke Strahlen turbulenter Luft, die auf das Substrat gerichtet sind und an die Zieloberfläche angepasst werden können. Der Waschvorgang wird mit einem Inline-Partikeldetektionssystem unterstützt, das ein gleichmäßiges und kontrolliertes Waschen ermöglicht. Diese Einheit arbeitet mit einer leistungsstarken Laser- und Kameramaschine, die die Fehler scannt und analysiert und den Herstellern ein Echtzeit-Feedback zum Status des Waschprozesses gibt. Der Fixload bietet einen vollautomatischen Wafer- und Maskenreinigungsprozess, der höchste Sauberkeit und Genauigkeit gewährleistet. Die Maschine ist in der Lage, viele verschiedene Arten von Substraten zu handhaben, von gestapelten Düsen über dünne Filme bis hin zu mehrstufigen FEOL und BEOL. Es ist auch in der Lage, 100mm und 200mm Wafer mit beispielloser Leistung und Genauigkeit zu reinigen. Abschließend ist Fixload TM ein leistungsstarker und hochautomatisierter Wafer- und Maskenwäscher, der eine umfassende und kostengünstige Lösung zur Beseitigung physikalischer Defekte an Halbleiterscheiben und -masken bietet. Es bietet hervorragende Leistung, Genauigkeit und Prozesskontrolle und bietet einen vollautomatischen Reinigungsprozess, um sauberere Substrate zu garantieren. Mit seiner Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafern und Masken zu handhaben, ist BROOKS AUTOMATION Fixload TM ein unschätzbares Werkzeug für Chiphersteller, die nicht konforme Produkte reduzieren und Gewinne verbessern möchten.
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