Gebraucht CSK HEATS-05 #293647981 zu verkaufen

CSK HEATS-05 ist eine hocheffiziente automatische Wafer- und Maskenwäscher-Ausrüstung zur Reinigung von Halbleiterbauelementen. Dieses System ist Teil der CSK Heats Serie von Wäschern, die in der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Das Gerät verwendet ein vakuumarmes Reinigungsverfahren, das ionisierte Luft verwendet, um Verunreinigungen aus Wafern und Masken zu entfernen. Dieser Prozess ist in der Lage, alle Partikel bis zu 20 nm zu entfernen, was es wirksam macht, Partikel von der Oberfläche der Vorrichtung zu entfernen. Das Verfahren bietet auch eine überlegene Reinigung von rauen oder verkratzten Oberflächen vor dem Aushärten und Lithographie. Die Maschine besteht aus drei Hauptteilen: einer Platte, einer Vakuumkammer und einer Stromversorgung. Die Platte ist eine strahlungsgeschützte Aluminium-Arbeitsfläche, die durch eine eingebaute Heizung auf die gewünschte Temperatur erwärmt wird. Die Vakuumkammer ist so ausgelegt, dass im Zyklus Luft in das Werkzeug eingesaugt wird, während die Stromversorgung das Bauteil mit elektrischer Energie versorgt. Die Platte ist mit zwei Wafer-Pads und vier Schrubbköpfen ausgestattet, die sich über die Oberfläche des Wafers oder der Maske bewegen, um sie zu reinigen. Die Platte kann für eine effektive Reinigung auf eine maximale Temperatur von 200 ° C erwärmt werden. Nach der Behandlung mit ionisierter Luft wird der Wafer dann auf die zu trocknende Platte gelegt und zur Härtung oder Lithographie mit UV oder Laser behandelt. Das Modell ist in der Lage, den Wafer oder die Maske bis zu einer Größe von 8 „x 10“ mit einer maximalen Zykluszeit von 60 Sekunden zu verarbeiten. HEATS-05 bietet einen konsistenten und zuverlässigen Reinigungsprozess, der einfach zu bedienen ist und eine sichere Reinigung von Wafern und Masken ermöglicht. Die Ausrüstung ist kompatibel mit einer breiten Palette von Geräteherstellungsprozessen, so dass es eine gute Wahl für jeden Halbleitergerätehersteller.