Gebraucht DISCO DCS 140 #9246368 zu verkaufen

ID: 9246368
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140 ist ein anspruchsvoller Wafer-Masken-Wäscher, der für die Handhabung von Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie Photoresist, Ätzen und CMP entwickelt wurde. Die Maschine verfügt über ein breites Spektrum an Bewegungs- und automatisierten Waschmöglichkeiten, die eine hochpräzise Reinigung von Lithographie-Retikeln, Belichtungsmasken, Toren und Antireflexionsflächen ermöglichen. DISCO DCS140 wurde entwickelt, um eine gründliche Reinigung mit minimaler Materialverschwendung zu erreichen, was eine optimale Kosteneffizienz in kritischen Produktionsprozessen ermöglicht. DCS 140 ist mit einer 3-Achsen-Bewegungssteuerung ausgestattet und verfügt über eine X-Y-Verfahrstufe, die von einem hochpräzisen DC-Servomotor angetrieben wird. Dieses kompakte System ermöglicht je nach Anwendung und Substrattyp sowohl die Musterwäsche als auch die flächenmäßige Reinigung. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine z-Achse, die von einem Linearmotor angetrieben wird und einen Hochgeschwindigkeits-Scanbereich von bis zu 200 µm bietet. Diese wichtigen Merkmale ermöglichen es dem Wäscher, eine Reihe komplexer Reinigungsaufgaben mit hoher Genauigkeit zu erfüllen. Der Wrubber hat eine Schleudergeschwindigkeit von bis zu 180 U/min und bietet eine schnelle und gründliche Reinigung von Wafern mit minimaler Verschmutzung. Darüber hinaus ist DCS140 mit einer Wasseraufbereitungseinheit ausgestattet, die Korrosion und Verschmutzung verhindert. Die Maschine ist auch in der Lage, mehrere Reinigungswege bereitzustellen, so dass Reinigungsflüssigkeit auch unzugängliche Bereiche leicht erreichen kann. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen mehrsprachigen LCD-Touchscreen, der Benutzern und Bedienern eine einfache Kontrolle über den Wäscher bietet. Diese benutzerfreundliche Oberfläche verfügt über eine Echtzeit-Datenüberwachungsmaschine, die den Bedienern die Beurteilung des Reinigungsprozesses erleichtert. Die Software des Scrubbers verfügt auch über Datenspeicher- und Bearbeitungsfunktionen, so dass Benutzer sich schnell zurückrufen und Reinigungszyklen nach Bedarf anpassen können. DISCO DCS 140 ist ein hocheffizienter und vielseitiger Wafer-Masken-Wäscher, der eine konsistente und präzise Reinigung einer Reihe von Materialien und Substraten bietet. Dank seiner hochpräzisen Eigenschaften und der benutzerfreundlichen Schnittstelle ist es die ideale Wahl für moderne Halbleiterproduktionsprozesse.
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