Gebraucht DISCO DCS 140 #9255326 zu verkaufen
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ID: 9255326
Wafergröße: 8"
Wafer cleaning system, 8"
Clean and dry with CDA blow
(2) Stream jet options
High pressure pump.
DISCO DCS 140 ist ein Wafer- und Maskenwäscher vom Typ Nass, der für den Einsatz in Halbleiterprozesskammern entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um das manuelle Waschen von Wafern und Masken zu vermeiden, die Partikel- und organische Kontamination zu reduzieren und konsistente Ergebnisse zu liefern. Der Wäscher verwendet ein zweistufiges Verfahren, das einen mechanischen Wäscheprozess und einen chemischen Wäscheprozess umfasst. Beim mechanischen Wäscheprozess wird ein Wafer auf die Wäscheplattform geladen und der Wäschekopf mit einer präzisen Kombination von Schwingungs- und Drehbewegungen mechanisch schrubben. Beim chemischen Waschvorgang wird ein Reinigungsmittel auf den Wafer gegeben und mit einem Wasserspray das Mittel abgespült und Restpartikel von der Waferoberfläche entfernt. Das Reinigungsmittel entfernt effektiv Rückstände, die durch den mechanischen Wäscheprozess entstehen. DISCO DCS140 scrubber ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, um eine zuverlässige Waschleistung zu gewährleisten. Es weist ein Zweikammersystem auf, das entweder in einem sequentiellen System verwendet werden kann, in dem der Wafer zwischen zwei Kammern bewegt wird, oder ein Einkammersystem, in dem der Wafer während des gesamten Waschvorgangs in derselben Kammer verbleibt. Es hat auch zwei Betriebsarten - automatisiert und manuell -, die es dem Benutzer ermöglichen, die Scrubbing-Parameter nach Bedarf anzupassen. Der Wäscher verfügt über eingebaute Sicherheitsmerkmale, einschließlich der automatischen Steuerung der Waschkopfhöhe, einem Feuchtigkeitssensor zum Erkennen, wann der Wassertank nachgefüllt werden muss, und Sicherheitsnetze und Barrieren, um sicherzustellen, dass die Betreiber vor potenziellen Gefahren geschützt sind. Es kann auch von einem Bedienfeld aus fernbedient werden, was eine größere Flexibilität in Produktionsprozessen ermöglicht. DCS 140 Schrubber hat eine kompakte Karosserie mit einem Fußabdruck von nur 900H x 600W x 600D mm, so dass es für Einrichtungen mit begrenztem Platz geeignet. Seine Leichtbauweise stattet den Schrubber zudem mit exzellenter Beweglichkeit aus. Darüber hinaus ist der Wäscher mit einem Wassertank ausgestattet, der bis zu 7,1 Liter Wasser fasst, so dass er längere Waschzyklen durchführen kann, ohne eine Nachfüllung zu benötigen. Der gesamte Inhalt des Schrubbers ist während des Gebrauchs über ein klares Sichtfenster sichtbar, so dass Benutzer den Schrubbfortschritt überwachen können, ohne die Schrubbertür öffnen zu müssen. Der Scrubber verfügt auch über mehrere Displays und LED-Leuchten, die Fehler, Warnungen und Maschinenstatus anzeigen. Abschließend ist DCS140 ein zuverlässiger und effizienter Wafer- und Maskenwäscher, der den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterproduktionsprozesse gerecht wird. Es ist einfach zu bedienen und hat eine kompakte Größe, so dass es eine ideale Wahl für Einrichtungen mit begrenztem Platz.
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