Gebraucht DNS / DAINIPPON 80A #9162941 zu verkaufen

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DNS / DAINIPPON 80A
Verkauft
ID: 9162941
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Developer system, 6" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A ist eine hochmoderne Photoresist-Anlage zur Entwicklung von Dünnschicht-Photoresist-Beschichtungen. Das System wurde speziell entwickelt, um eine konsistente und reproduzierbare Leistung für eine Vielzahl von Anwendungen zu bieten, darunter MEMS/MOEMS, Photolithographie, Mikroelektronik und optische Beschichtungen. Das Gerät besteht aus einer voll ausgestatteten Photoresist-Sprühkammer und mehreren präzisen Verdampfungsstationen (PES) zur gleichmäßigen und konsistenten Beschichtung von Dünnschicht-Photoresist. Die Sprühkammer ist sowohl zur Regelung der Temperatur als auch der Feuchtigkeit der Reaktionsumgebung ausgelegt und sorgt für eine gleichmäßige Verteilung des lichtempfindlichen Materials. Es verfügt auch über eine Vakuumverriegelung, um die richtigen Abscheidungsparameter zu gewährleisten. Die mehrfachen PESs bieten eine präzise Schichtabscheidungssteuerung, die eine präzise Feinabstimmung der Dünnschicht-Photoresistschichtdicken ermöglicht. DNS 80A Instrument enthält auch eine fortschrittliche Flüssigkeits- und Gassteuerungsmaschine, die für eine präzise Gasfluss- und Drucksteuerung von bis zu sieben Reaktoren im Werkzeug ausgelegt ist. Diese Anlage soll eine präzise Steuerung der Reaktionsgeschwindigkeiten und Schichtabscheidungsparameter ermöglichen, die mit ultrahohen Reinheitsprozessen aufgebaut sind. DAINIPPON 80A beinhaltet neben Sprühkammer und SPE auch einen präzise hergestellten Backkolben zum gleichmäßigen Erwärmen von Dünnschichtschichten. Die Öfen sind so konzipiert, dass sie die Temperatur jeder Schicht individuell steuern, ein gleichmäßiges Backprofil gewährleisten und Wärmeverluste verhindern. Dadurch wird auch sichergestellt, dass die abgeschiedenen Dünnschichtresiste gleichmäßig und konsistent sind. 80A umfasst auch ein fortschrittliches Computercontroller-Modell, mit dem der Benutzer eine Vielzahl von Bedingungen einrichten und überwachen kann, die für eine einheitliche Photoresist-Anwendung erforderlich sind. Zusätzlich ermöglicht der mikroprozessorbasierte Regler die Echtzeiteinstellung von Parametern wie Sprühdüsendruck, Beschichtungsgeschwindigkeit, Schichtdicke und Temperatur. Dadurch kann sich der Anwender schnell an veränderte Bedingungen anpassen und seine Produktionsprozesse optimieren. Insgesamt ist DNS/DAINIPPON 80A eine leistungsfähige und zuverlässige Dünnschicht-Photoresist-Ausrüstung, die eine konstante und reproduzierbare Leistung für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Durch die Kombination von fortschrittlichen Beschichtungs-, Back- und Computersteuerungssystemen ist DNS 80A in der Lage, eine präzise Schichtabscheidungssteuerung für eine extrem breite Palette von Anwendungsprozessen bereitzustellen.
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