Gebraucht DNS / DAINIPPON SR-3000 #293596480 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293596480
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Stripper, 12"
(4) Chambers
CIM: SECS / GEMS
Process: AZ / NMP, PGMEA, IPA
(2) Pump
Handler: IR / Slide / CR Robot
Factory interface: (3) FOUP
2003 vintage.
DNS/DAINIPPON SR-3000 ist ein hochentwickelter Wafer- und Maskenwäscher für Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen. Dieser Scrubber bietet eine zuverlässige, leistungsstarke Plattform für die Entwicklung und Prüfung von wafer- und maskenbezogenen Prozessen. DNS SR-3000 ist in der Lage, Wafer bis 300mm Durchmesser zu handhaben, und ist mit mehreren Schrubbköpfen ausgestattet, die unabhängig konfiguriert werden können, um optimale Waschergebnisse zu erzielen. Das Gerät verfügt über einen vollautomatischen Waschvorgang mit einem computergesteuerten programmierbaren Waschkopf. Der Waschkopf nutzt die Ultraschallreinigungstechnik, um die Oberfläche des Wafers oder die Maske von Verunreinigungen gründlich zu reinigen. Der Scheuerkopf besteht aus zwei polykristallinen Diamantscheuerspitzen, die in einer Drehscheibe gelagert sind, und die Spitzen sind zur Reinigung der Kanten des Wafers oder der Maske sowie der Oberfläche ausgelegt. Der Wafer oder die Maske wird in einer Spül-Trocken-Spül-Trockensequenz gereinigt, die Schmutz und Verunreinigungen von der Oberfläche entfernt und die Qualität des Verfahrens verbessert. DAINIPPON SR-3000 verfügt auch über ein hochpräzises Reinigungssystem, das zwei Wasserquellen verwendet, heiß und kalt, um zuverlässige und effiziente Reinigungsergebnisse zu gewährleisten. Die Reinigungssoftware von SR-3000 sorgt dafür, dass der Wafer oder die Maske gründlich gereinigt wird, bevor sie auf die Verarbeitungsplattform geladen wird. Das Gerät kann auch mit zusätzlichen Merkmalen wie automatischer Waferbeladung, Waferausrichtung und Waferinspektion ausgestattet werden. Diese Merkmale sollen jede Möglichkeit einer Kontamination beseitigen und sicherstellen, dass der Wafer oder die Maske wiederholbar und zuverlässig verarbeitet wird. DNS/DAINIPPON SR-3000 ist für jede Art von Halbleiterherstellungsumgebung geeignet. Es umfasst eine prozessorientierte Steuerungsmaschine, die ihre Konfiguration auf der Grundlage des gewünschten Prozesses optimieren kann. Damit eignet sich DNS SR-3000 besonders für den Einsatz in Serienumgebungen. Abschließend ist DAINIPPON SR-3000 Wafer and Mask Scrubber ein Werkzeug, das eine effiziente und zuverlässige Reinigung von Wafern und Masken für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen gewährleistet. Der Waschkopf und die damit verbundenen Merkmale sind so konzipiert, dass eine optimale Reinigungsleistung gewährleistet ist, ohne auf Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit zu verzichten, und der Waschprozess ist einfach genug, um in jede Art von Produktionsumgebung integriert zu werden.
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