Gebraucht DNS / DAINIPPON SS-80BW-AR #9205458 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

ID: 9205458
Scrubber, 8" SMIF Type Options: 2F / 2B Moving type: Transfer robot Loading position type: Right-side type Signal tower: 4-Color (GYWR) Patlite type Indexer unit: (4) SMIF Type Wafer detect sensor Transfer robot (Vacuum less) / X,Y, Z, R Axis TR Unit: Dual arm transfer robot (Vacuum less) / XI, X2, Y, Z, R Axis Wafer detect sensor Back-side spin unit: Magnetic chuck type Brush nozzle (Normal type) Jet nozzle DIW1, D1W2, back rinse, brush rinse, N2 blow, N2 purge Front-side unit: Vacuum chuck (Black acetal) Brush (Brush pressure control system) Jet nozzle DIW1, DIW2, Back rinse, brush rinse, N2 blow, N2 purge Reverse unit: (2) Reverse units Side cabinet: (4) High pressure pumps / EBARA / PJ-50 / E50-R13K / 5(Mpa) Meg-con system FFU Chamber & controller Drain mani-fold unit 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-80BW-AR ist ein speziell für die Lithographie konzipierter Wafer- und Maskenwäscher. Der Wäscher bietet ein hohes Maß an Automatisierung und Steuerung, die eine zuverlässige Reinigung ohne Schaden für den Wafer oder die Maske ermöglichen. Das Gerät eignet sich für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich Reinigungsmasken vor Linsen und Belichtungssystemen, sowie Waschen von Wafern nach der Entwicklung. DNS SS-80BW-AR scrubber bietet einen zuverlässigen und effizienten Reinigungsprozess mit Funktionen wie einer hochpräzisen Steuerung, adaptiver Scheuerkraft und einem Klappdeckel für einen einfachen Zugang. Der Wäscher verwendet eine computergesteuerte Kraft, um das schonende Waschen von Masken und Wafern zu ermöglichen. Die Kraft kann zwischen 0.8-2.4N eingestellt werden, um sicherzustellen, dass die Reinigung optimal auf die Empfindlichkeit des Waschgutes abgestimmt ist. Der Wäscher hat zwei Hauptabschnitte: eine Reinigungskammer, die mit einem Waschrad und Reinigungsflüssigkeit ausgestattet ist, und eine Steuerkammer. Die Reinigungskammer ist so ausgelegt, dass die Übertragung von Reinigungsflüssigkeit aus vorherigen Wafern verringert wird. Die Steuerkammer beherbergt eine Vakuumquelle, einen Temperatursensor, einen Kraftsensor, einen Drucksensor sowie eine CCD-Kamera zur Echtzeitüberwachung des Reinigungsprozesses. Das System ist für geringe Partikel- und Wasserverunreinigungen ausgelegt und beinhaltet eine Einheit zur Temperaturregelung des Waschwerkzeugs. Der Wäscher verfügt außerdem über eine RR-Monitorfunktion, mit der Benutzer Partikelgröße, Konzentration und Durchflussrate überwachen können. Um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten, wurde DAINIPPON SS 80BW AR scrubber entwickelt, um den Benutzer auf mögliche Kontaminationen oder Fehler während des Waschvorgangs aufmerksam zu machen. Die Maschine ist auch so konzipiert, um Kreuzkontaminationen zwischen Wafern zu verhindern, indem das Waschrad nach jedem Einsatz automatisch gereinigt wird. SS-80BW-AR ist eine ideale Wahl für die Wafer- und Maskenreinigung in der Lithographie-Produktion. Es bietet einen zuverlässigen, automatisierten Reinigungsprozess mit einstellbarer Waschkraft, Temperaturregelung und Partikelsteuerung. Der Schrubber ist einfach zu bedienen und zu warten, reduziert Ausfallzeiten und steigert die Produktivität.
Es liegen noch keine Bewertungen vor