Gebraucht DNS / DAINIPPON SSW-629-B #293608924 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SSW-629-B
ID: 293608924
Coater.
DNS/DAINIPPON SSW-629-B Wafer & Mask Scrubber ist eine automatisierte Lösung zur Entfernung von Partikeln aus Halbleitersubstraten und Lithographieoptiken. Diese Vorrichtung ist für Partikelreinigungsanwendungen wie Low-K- oder Cu-Substrate sowohl für rückseitige als auch für vorderseitige Sputterprozesse ausgelegt. Das Gerät besteht aus einem Kassettenlader/Entlader, einem Großrechner mit einem MFC-Controller und Maschinenkomponenten sowie einer Reihe von Waschbürsten. Jede Waschbürste besteht aus einer maßgeschneiderten Drehspindel, die an einem motorisierten, programmierbaren Antrieb befestigt ist. Der Waschvorgang wird durch ein servogesteuertes Luftlagersystem betrieben, das es der Bürste ermöglicht, sich synchron mit der rotierenden Spindel ohne Reibung zwischen den beiden Komponenten zu bewegen. Die servogesteuerte Einheit sorgt für einen gleichmäßigen Waschdruck über die Waferoberfläche und kann fein eingestellt werden, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Der Waschvorgang wird durch ein mikroprozessorgesteuertes Programm angesteuert, das eine präzise Einstellung der Bürsten- und Spindeldrehzahlen ermöglicht. Auf diese Weise können Anwender hoch gezielte Waschprozesse mit maximaler Effizienz durchführen und eine gleichmäßige Entfernung von Partikeln über den Wafer gewährleisten. Der Schrubber ist außerdem mit einem 30-Watt-Laser ausgestattet, der sowohl mit Autofokus- als auch mit Leistungseinstellfunktionen ausgestattet ist. Dadurch lassen sich hochpräzise Anpassungen für eine optimale Reinigungsleistung vornehmen. DNS SSW-629B ist mit einem Gehäuse im Kabinenstil konzipiert, um die Sicherheit des Bedieners zu maximieren und die Verschmutzung in der Luft zu verringern. Das Innere des Wäschers enthält eine leistungsstarke Dunstabzugsmaschine, die Frischluft von außerhalb des Wäschers fördert, die verhindert, dass Luft zurückgeführt wird und die Exposition gegenüber gefährlichen Partikeln reduziert. Der Wäscher enthält auch eine Steuereinheit, die eine komfortable Steuerung des Geräts ermöglicht. Dies beinhaltet die Möglichkeit, die Scrubber-Einstellungen mit Operationsprotokollen zu programmieren, die Geschwindigkeit und Richtung des Scrubbers anzupassen und den Scrubbing-Prozess jederzeit zu überwachen. Das Steuergerät verfügt zudem über ein intuitives LCD-Display, so dass es einfach ist, den Status des Wäschers zu überwachen und erforderliche Anpassungen vorzunehmen. DAINIPPON SSW 629B ist ein fortschrittlicher Wafer & Maskenwäscher, der die Risiken im Zusammenhang mit Partikelverunreinigungen verringern und die Effizienz von Waschprozessen maximieren soll. Kombiniert mit seinen hochmodernen Funktionen wie dem servogesteuerten Luftlagerwerkzeug und dem leistungsstarken, einstellbaren Laser bietet der Wäscher eine effiziente, zuverlässige und sichere Lösung für die Entfernung von Partikeln aus Halbleitersubstraten und Lithographieoptiken.
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