Gebraucht KOCAT KSI-701 #9314418 zu verkaufen
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ID: 9314418
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOCAT KSI-701 ist ein High-End-Wafer und Maskenwäscher der KOCAT Corporation. Es ist für den Einsatz in Halbleiterbaugruppen und Verarbeitungsanwendungen konzipiert, so dass es ideal für die Bedürfnisse großer Produktionslinien ist. KOCAT KSI 701 bietet überlegene Leistung und Benutzerfreundlichkeit mit einer breiten Palette von Reinigungs-, Schrubb- und Polierfunktionen. Ihr Hauptziel ist es, bei der Reinigung und Wiederherstellung der Oberflächen von Wafern und Masken, die in verschiedenen Backend-Produktionsprozessen verwendet werden, zu helfen. Es ist in der Lage, beide Seiten des Wafers oder der Maske unabhängig zu schrubben, so dass Massenarbeiten schnell und effektiv gewaschen werden können. KSI-701 ist auch in der Lage, Verunreinigungen und andere Aufbauten auf den Oberflächen der Teile zu reduzieren, indem es hochwirksam und effizient ist. KSI 701 ist eine vollautomatische Maschine, die Wafer und Masken nach einem hohen Qualitätsstandard reinigen, schrubben und polieren kann. Dies wird durch den Bereich der integrierten Funktionen, wie z.B. einen X-Y-Waschtisch, ein lineares VPI-Waschsystem und ein oszillierendes Waschsystem erreicht. Der fortschrittliche Wafer-Handler ergänzt auch seine Reinigungsfunktionen, da die Maschine mit Wafern bis 25 mm Durchmesser problemlos umgehen kann. In Bezug auf Sicherheit und Wartung verfügt KOCAT KSI-701 über verschiedene Schutzmerkmale, wie eine Deckelverriegelung, eine Gasabsperrfunktion und eine automatische Wasserabsperrfunktion. Dies sorgt für einen sicheren Betrieb und reduziert den Bedarf an manueller Wartung. Es verfügt außerdem über eine Reihe von Alarmen und Sensoren, die es ihm ermöglichen, Unregelmäßigkeiten in seinem Betrieb zu erkennen, um die zu schrubbenden Teile vor Beschädigungen zu schützen. KOCAT KSI 701 ist ein innovatives Produkt für kleine und große Halbleiterproduktionsanwendungen, das eine breite Palette von Reinigungs-, Wasch- und Polierfunktionen bietet. Es ist zuverlässig, effizient und einfach zu bedienen, so dass es ideal für die Anforderungen sowohl von High-End- und Einstiegsproduktionslinien. Darüber hinaus sorgen seine fortschrittlichen Sicherheits- und Überwachungsfunktionen dafür, dass Qualität und Sicherheit nie für Geschwindigkeit beeinträchtigt werden.
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