Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Coronus #293665044 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Coronus ist ein Wafer- und Maskenwäscher, der eine fortschrittliche Reinigungssteuerung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. 2300 Coronus wurde entwickelt, um Verunreinigungen effektiv zu entfernen und gleichzeitig die Kontrolle des Waschvorgangs zu behalten. Der Wäscher verwendet eine Kombination aus Vakuum, Reinigungslösung und Ultraschalltechnologie, um Partikel und Verunreinigungen aus Wafern und Masken effizient zu entfernen. Der Reinigungsprozess wird von einem Controller mit einer grafischen Echtzeit-Anzeige überwacht, die aktuelle und historische Wafer- und Maskenreinigungsparameter anzeigt. Der Schrubber ist mit einem freitragenden Scheuerkopf ausgestattet, der für eine optimale Wäschewirkung einstellbar ist. Dieser Scheuerkopf ist so konzipiert, dass er eine bessere Reinigungsabdeckung bietet und gleichzeitig Waferkantenschäden minimiert. Der Waschkopf ist auch zur Reinigung von Partikelgröße, Waschdruck und Hin- und Herbewegung einstellbar. Der Wäscher verwendet eine Drei-Zonen-Waschanlage, die einen verdampfenden Trockenbereich, einen Reinraum-Transferbereich und eine Waschzone umfasst. In der Verdunstungstrockenzone wird der Wafer durch Luftstrahlen gefegt und gleichzeitig durch Ultraschall-Vibrationswirkung für maximale Spanprofilreinheit gewaschen. Der Reinraum-Transferbereich puffert verdampfte Partikel und verhindert, dass sie sich während des Transfers wieder auf dem Wafer absetzen, während die Waschzone eine sanfte Waschwirkung verwendet, um Abfälle effektiv zu entfernen. Neben dem Drei-Zonen-Waschsystem verfügt LAM RESEARCH 2300 Coronus auch über eine Flüssigkeitsliefereinheit. Diese Maschine wurde entwickelt, um die entsprechende Menge und Art der Reinigungschemie auf den Wafer anzuwenden. Das Werkzeug ist in der Lage, verschiedene Chemikalien wie HFE, IPA und DI Water anzuwenden, während die Reinigungsparameter genau überwacht und kontrolliert werden, um optimale Reinigungsergebnisse zu gewährleisten. 2300 Coronus ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt und bietet eine breite Palette von Prozesssteuerungsoptionen. Es ist mit einem erweiterten Softwarepaket ausgestattet, das benutzerprogrammierbare Rezepte und Protokollierung unterstützt. Die Software verfügt auch über integrierte Sicherheitsfunktionen wie Wafer und Maskenverfolgung, Alarmmeldungen und automatische Abschaltung. LAM RESEARCH 2300 Coronus ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für präzises und effektives Wafer- und Maskenschrubben.