Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Coronus #293668768 zu verkaufen

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LAM RESEARCH 2300 Coronus
Verkauft
ID: 293668768
Wafer cleaning system.
LAM RESEARCH 2300 Coronus ist ein Wafer- und Maskenwäscher für Hightech-Halbleiterprozesse. Der Wäscher verwendet ein proprietäres System, das aus anspruchsvollen Ionenquellen-Arrays besteht, um hochpräzise Reinigungs- und fortschrittliche Plasmaquellentechnologie zu liefern, um die Wasch- und Reinigungsleistung zu maximieren. Der Coronus ist für eine Vielzahl von Anwendungen konzipiert, einschließlich der Verwendung in Nass- und Trockenwäsche, Maskenreinigung, Wafer-Schrubben und Plasmaaschen. Der Coronus besteht aus wenigen Hauptbestandteilen. Es verfügt über ein Ionenquellenarray, eine Stromversorgung, eine Vakuumpumpe und einen Roboterarm, der das Werkzeug über die Substratoberfläche bewegt. Das Ionenquellen-Array bietet eine intensive Plasmareinigung von extrem kleinen Partikeln und kann je nach Anwendung auf unterschiedliche Wellenlängen und Energien abgestimmt werden. Die Stromversorgung steuert die Intensität des Plasmas, um eine präzise Reinigung zu gewährleisten, während die Vakuumpumpe die innere Sauberkeit des Werkzeugs und des Substrats beibehält. Der Roboterarm ermöglicht ein automatisiertes Waschen, das die Verarbeitung des Wafers oder der Maske zu einem einzigen Betriebspunkt führt. Das fortschrittliche Plasmareinigungssystem von Coronus kann Substrate mit einer Größe von bis zu 12 Zoll verarbeiten, mit einer Reinigungsgeschwindigkeit von bis zu dreimal schneller als beim manuellen Waschen. Das Werkzeug ist auch für Wafersubstrate aller Formen, Größen und Zusammensetzungen ausgelegt. Das robuste Design und die fortschrittliche Elektronik des Coronus ermöglichen es, selbst anspruchsvollste Oberflächen effizient zu reinigen. Der Coronus ist extrem energieeffizient und hat ein umweltfreundliches Design, das die Emission unerwünschter Gase bei gleichzeitig hoher Leistung und geringer Wartung begrenzt. Der modulare Aufbau und die offene Architektur des Geräts erleichtern die Wartung und Aktualisierung. Da der Coronus zudem mit einer Vielzahl von Automatisierungs- und Prozessüberwachungssystemen kompatibel ist, kann er sich schnell in bestehende Halbleiterfertigungslinien integrieren. Insgesamt ist 2300 Coronus ein zuverlässiger und effizienter Wafer- und Maskenwäscher, der speziell für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es kombiniert fortschrittliche Plasmatechnologie und Automatisierung, um präzise Reinigung und leistungsstarke Ergebnisse zu liefern. Der modulare Aufbau und die flexible Architektur des Coronus machen es zu einem leistungsfähigen Werkzeug, das eine Vielzahl von Anforderungen erfüllen kann.
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