Gebraucht MTI MULTIFAB #97293 zu verkaufen
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ID: 97293
Wafergröße: 6"
Developer
Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler
Develop bowl
Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost
Develop module can be set up with puddle dispense or fan spray dispense
Develop module will be set up with one side dispense for DI water
Spare parts package included ($5,000 value)
Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB ist ein Wafer- und Maskenwäscher, der eine effektive, konsistente und wiederholbare Reinigung von Wafern und Masken ermöglicht. Es verwendet eine Kombination aus elektrochemischen Prozessen, ultrareiner Wasserwäsche und Dampfphasenwäsche, um Oberflächenteilchen, Kontaminationen und Rückstände sicher und schnell zu entfernen. MULTIFAB wurde speziell entwickelt, um maximale Reinigungsleistung zu erzielen, ohne empfindliche Oberflächen zu beschädigen. Durch die Kombination mehrerer Reinigungstechnologien ist MTI MULTIFAB das vielseitigste und robusteste Waschsystem auf dem Markt. MULTIFAB wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Oberflächen wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Glas oder Metall effektiv zu reinigen. Es wird auch eine Vielzahl von Verunreinigungen reinigen, wie Photoresists, Ätzreste und Partikel. Es soll Rückstände entfernen, die entweder organisch oder anorganisch sind. Die elektrochemischen Prozesse von MTI MULTIFAB beinhalten die Durchleitung von energetisierten Ionen durch eine Lösung, um chemische Bindungen auf den Substrat- oder Maskenoberflächen anzuziehen und abzubauen. Dadurch werden Oberflächenteilchen, Verunreinigungen und Rückstände wirksam entfernt. Die Kombination aus Wasch- und chemischen Prozessen sorgt für eine effektive, konsistente und wiederholbare Reinigungsleistung. Neben den elektrochemischen Verfahren nutzt MULTIFAB auch ein ultrareines Wasserwaschverfahren. Es verwendet ultrareines Wasser, um Partikel auf dem Substrat oder Maskenoberflächen zu lösen. Dieser Prozess macht sie anfällig für die elektrochemischen Prozesse und entfernt die Verunreinigungen schnell von den Oberflächen. MTI MULTIFAB verwendet auch einen fortschrittlichen Dampfphasenwäscheprozess, um Substrate und Masken effektiv zu reinigen. Bei diesem Verfahren wird ein Feinnebel aus ultrareinem Wasser auf die Oberfläche gesprüht, um tief in die Oberfläche einzudringen und Verunreinigungen oder Rückstandspartikel zu stören. Die fortschrittliche Recyclingtechnologie ermöglicht eine kontinuierliche Reinigung von Wafern und Masken über längere Zeit. MULTIFAB wurde entwickelt, um die Betriebskosten niedrig zu halten und gleichzeitig qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erhalten. Es verwendet Flüssigkeitstanks mit hoher Kapazität, die längere Waschzyklen ermöglichen und gleichzeitig einen kostengünstigen Betrieb ermöglichen. Es verfügt auch über eine erweiterte Benutzeroberfläche, die eine schnelle und einfache Bedienung und Wartung ermöglicht. MTI MULTIFAB bietet zuverlässige und effiziente Reinigung für eine Vielzahl von Wafer- und Maskenmaterialien. Die Kombination aus Prozessen, fortschrittlichen Flüssigkeitstanks und Benutzeroberfläche sorgt für eine kostengünstige Lösung, die Substrate und Masken schnell und effizient reinigen kann. Es ist das vielseitigste und robusteste Waschsystem auf dem Markt.
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