Gebraucht SAWA SC A22 #9157623 zu verkaufen

SAWA SC A22
Hersteller
SAWA
Modell
SC A22
ID: 9157623
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2013
Mask cleaner, 8" 2013 vintage.
SAWA SC A22 ist ein automatisierter Wafer- und Maskenwäscher zur schnellen Entfernung von Partikeln und Kleberesten von ebenen Oberflächen wie Wafern und Masken mit minimalem Abrieb. Mit diesem Wäscher können Photomasken, blanke Siliziumscheiben und Schleifscheiben während des Herstellungsprozesses gereinigt werden. Es wird auch zur Herstellung von Substraten für die Handhabung nach der Produktion wie Beschichtung, Nassreinigung oder Verklebung verwendet. SC A22 ist mit einer Reihe von Bürsten- und Vakuumtechnologien ausgestattet, um die Reinigungseffizienz zu erhöhen, die Partikelerzeugung zu reduzieren und die Oberflächenvorbereitung zu verbessern. SAWA SC A22 verwendet eine leistungsstarke Zweibürstenausrüstung, einschließlich Bürstenpolster mit weichen, mittleren und harten Borsten, die bei hoher Frequenz schwingen, um Partikel weg von der Wafer- und Photomaskenoberfläche zu rühren und zu suspendieren. Dieses Doppelbürstensystem ist mit einer hocheffizienten Vakuumeinheit integriert, um eine effektive Partikelentfernung zu gewährleisten und gleichzeitig eine erneute Partikelabscheidung zu verhindern. Ein Luftmesser ist ebenfalls integriert, um das Spülen und Abblasen von Schmutz zu erleichtern. Der Wäscher kann vier Wafer und vier Masken pro Zyklus aufnehmen. Die Substrathalterungen verriegeln sich in einer Translationsantriebsmaschine, die die Wascharme zwischen den Substrathalterungen und dem Waschkopf bewegt. Der Waschkopf kann so eingestellt werden, dass eine präzise Steuerung der Bürsten- und Vakuumfunktionen möglich ist. Dadurch lassen sich je nach Anwendungsfall unterschiedlichste Prozessparameter optimieren. Ein eingebauter Drucksensor sorgt auch dafür, dass der Waschdruck innerhalb vorprogrammierter Einstellungen liegt. SC A22 ist mit einem Steuerungstool ausgestattet, das benutzerfreundlich ist und Überwachungs-, Programmier-, Diagnose- und OEE-Funktionen (Gesamtausstattungseffizienz) umfasst. Das Steuerelement verfügt über einen 12,1-Zoll-LCD-Touchscreen mit integriertem Fernzugriff für den Fernbetrieb. Die Maschine kann auch programmiert werden, um automatisch beim Start zu laufen, und gespeicherte Reinigungsrezepte können hinzugefügt und für Wiederholungen bearbeitet werden. Der integrierte Bedienmodellalarm informiert den Betreiber über unregelmäßige Bedingungen. SAWA SC A22 ist ein idealer Schrubber für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen. Diese Maschine ist zuverlässig, wiederholbar und einfach zu bedienen und zu warten. Dadurch eignet sich dieser Wäscher gut für den Einsatz in Produktionslinien, die eine hohe Prozesssteuerung und Linienstabilisierung erfordern.
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