Gebraucht SSEC 3300 #293593176 zu verkaufen

SSEC 3300 Wafer & Maskenwäscher ist eine hochpräzise, automatisierte Reinigungsausrüstung, die verwendet wird, um Partikelverunreinigungen von empfindlichen Halbleiterscheiben und Photomasken-Rohlingen zu entfernen. Das System wurde mit fortschrittlicher Robotik, SPS-Controllern und einer PC-Schnittstelle entwickelt, um praktisch Reinigungskonsistenz und Genauigkeit zu gewährleisten. 3300 nutzt eine von zwei Waschtechnologien: Contact Scrubbing oder lokales Scrubbing. Der Kontaktwäscheprozess verwendet mehrere Roboterarme, die durch vorprogrammierte CNC-Software gesteuert werden, die sich auf einem bestimmten Weg bewegen sollen. Während sich jeder Arm entlang der gewünschten Route bewegt, verwendet der Waschkopf, der am Ende des Roboterarms angebracht ist, eine Rollenrakel, um Partikel aus dem Wafer zu entfernen. Das lokalisierte Waschen ist ein genaueres, punktförmiges Waschverfahren, das typischerweise für die mechanische Reinigung extrem empfindlicher Substrate, wie z.B. Photomasken-Rohlinge, verwendet wird. Beim lokalisierten Waschen wird die Waschwirkung aus einem stationär montierten Waschkopf erzeugt, der mit einer Reihe von mehreren kleinen Reinigungsmikrowäschen ausgestattet ist. Darüber hinaus bietet das lokalisierte Waschen eine Eiskühlfunktion, die es ermöglicht, den Prozess bei einer sehr niedrigen Temperatur, typischerweise knapp über dem Gefrierpunkt, durchzuführen, um die Wahrscheinlichkeit einer Beschädigung des Substrats weiter zu minimieren. Bei beiden Verfahren wird dem Waschkopf eine flüssige Reinigungslösung über eine Rezirkulationseinheit zugeführt, die frische Flüssigkeit einführt und verbrauchte Flüssigkeit und Partikelschutt entfernt. Die gebrauchte Flüssigkeit wird über die eingebaute Filtrationsmaschine gereinigt, bevor sie wieder in den Waschvorgang zurückgeführt wird. SSEC 3300 bietet volle Flexibilität in Wafergröße, Geometrie, chemischer Verträglichkeit, Werkzeugwechsel und chemischer Konzentration. Das Werkzeug kann auch einfach an individuelle Anwenderspezifikationen angepasst werden. In Kombination mit umfassenden Kommunikations- und Bedienermeldungssystemen bietet 3300 sowohl eine hohe Zuverlässigkeit als auch Reinigungsgenauigkeit. Das patentierte Design der SSEC 3300 reduziert den vom Benutzer generierten Fehler, der häufig mit manuellen Systemen verbunden ist, erheblich. Der automatisierte Reinigungsprozess reduziert zudem die gesamte Bedienzeit, die für die Durchführung eines Reinigungszyklus benötigt wird, erheblich und schont wertvolle Ressourcen. Darüber hinaus führt die Optimierung der chemischen Konzentration und der Wäschewirkung zu saubereren Wafern, einer längeren Lebensdauer und einer längeren Lebensdauer der Werkzeuge. Dadurch wird 3300 aufgrund seiner Zuverlässigkeit, Flexibilität und überlegenen Ergebnisse von vielen Anwendern bevorzugt und bevorzugt.