Gebraucht SSEC 3300 #9225597 zu verkaufen
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SSEC 3300 ist ein Wafer- und Maskenwäscher der Firma Ruß MicroTec, Inc. Es wurde entwickelt, um die Oberflächenverschmutzung von Wafern und Masken vor dem Auftragen von Photolack während der Geräteherstellung zu reduzieren. 3300 verwendet eine Kombination von Ultraschall- und Strahlwaschtechnologien, um ein hochwertiges Ergebnis mit minimaler Beschädigung des Substrats zu erzielen. SSEC 3300 arbeitet mit einem Stromverbrauch von 5.5kW und einem Nenndruck von 3.2MPa. Es bietet eine Reinigungsgröße von bis zu 128 verschiedenen Reinigungszyklen und 5 Düsenkonfigurationen. Das Gerät ist mit einer einstellbaren Oszillationsfrequenz ausgestattet und bietet eine hervorragende Steuerung der Scrubber-Parameter. Der Schrubber ist mit einem 200mm Durchmesser Reinigungsbett ausgelegt und hat eine Kapazität von bis zu 20 Wafern/Maske. Es hat auch einen 3-achsigen Roboterarm zum Be- und Entladen von Wafern. 3300 verwendet eine turbomolekulare Vakuumpumpe, um in einer geschlossenen Kammer ein hohes Vakuum zu erzeugen. Dies ist notwendig, um sicherzustellen, dass Partikel, Abfälle und andere kleine Partikel während des Waschvorgangs vollständig aus den Wafern entfernt werden. Die Vakuumfunktion schiebt auch die Waschlösung in den angestrebten Bereich. Dies macht den Waschvorgang hochwirksam und sorgt dafür, dass keine sterilen Taschen zurückbleiben. Die Druckregeleinrichtung des Wäschers ist so konzipiert, dass während jedes Zyklus eine gleichmäßige Verteilung des Waschdrucks über die gesamte Oberfläche des Wafers und der Maske gewährleistet ist. SSEC 3300 verfügt auch über ein Überwachungssystem, das eine genaue Überwachung von Parametern wie Betriebsdruck, Wasserdurchfluss und Temperatur ermöglicht. Dies sorgt für gleichbleibend hochwertige Ergebnisse. 3300 ist mit einem programmierbaren Logikcontroller zur Steuerung und Überwachung aller Parameter des Scrubbers ausgelegt. Dies trägt zu konsistenten Ergebnissen und effizientem Betrieb bei. Zusätzlich verfügt das Gerät über eine erweiterte UV-LED-Einheit zur Strahlungssterilisation. Diese Maschine kann verwendet werden, um die Wafer und Masken nach dem Waschen zu sterilisieren, um Kontaminationen zu minimieren. Insgesamt ist SSEC 3300 ein effektiver Wafer- und Maskenwäscher, der die Kontamination vor dem Aufbringen von Photolack während der Geräteherstellung reduziert. Mit seiner fortschrittlichen Technologie bietet es eine hervorragende Oberflächenreinigung sowie eine genaue Überwachung und Kontrolle von Parametern. Es wurde entwickelt, um einen effizienten Betrieb, konsistente Ergebnisse und eine hochwertige Verarbeitung zu gewährleisten.
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