Gebraucht SSEC Evergreen 50 #161265 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 161265
Wafergröße: 8"
Mask and wafer scrubber, 8"
Cassette to cassette spin developer
PC Controller with pull down menus for controlling all process parameters
User specific routines or recipes are stored on hard drive.
SSEC Evergreen 50 Wafer & Mask Scrubber ist eine leistungsstarke Ausrüstung für die Halbleiterherstellung, die für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungs- und Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um überlegene Reinigungs-, Läpp-, Polier- und Scheuerpräzision zu bieten. Evergreen 50 ist eine vielseitige Einheit, die Wafer und Masken bis zu einer Wafergröße von 8 "und großen flachen Anwendungen verarbeiten kann und eine Vielzahl von Wafermaterialien verarbeiten kann, einschließlich Silizium, SOI, GaAs, SiGe, InP und mehr. Die Maschine ist für den Betrieb mit Geschwindigkeiten von bis zu 16.000 U/min ausgelegt und bietet eine hohe Abtragsrate von bis zu 1,2 μ m/Minute mit einer großen Auswahl an Reinigungs- und Poliermedien, Pads und Polituren. SSEC Evergreen 50 verfügt über eine HiFlo™ Multi-Station Rundluft- und Flüssigkeitszerstäubungsplattform, die Prozesskontrolle, Wiederholbarkeit und Feinabstimmung des Reinigungsprozesses ermöglicht. Das Steuerungstool beinhaltet einen PHS Group Servoantrieb mit einem Fusion™ Softwarepaket und Fernbedienung. Das neu entwickelte SSEC Integrated Bearing Asset (ISB) bietet überlegene Steifigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit, wodurch dynamische Fehler und eine verbesserte Oberflächenqualität reduziert werden können. Das integrierte Lagermodell und die besten Designdaten beseitigen die traditionellen Lagerungenauigkeiten für eine verbesserte Ebenheit und Fehlerkontrolle. Evergreen 50 ist für Plug-and-Play-Funktionen konzipiert und wird mit einer breiten Palette von Zubehör gebündelt, einschließlich Waferkassetten, Waferschalen und Maskenkassetten, die schnelles und einfaches Be- und Entladen von Wafern und Masken ermöglichen. Neben der überlegenen Leistung bietet SSEC Evergreen 50 auch hervorragende optische und thermische Eigenschaften und eine geringe Leistungsaufnahme, die beide zur Minimierung der Betriebskosten beitragen. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Spezifikationen zu erfüllen, einschließlich der internationalen Technologie-Roadmap für Halbleiter (ITRS), um zuverlässige und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Abschließend ist Evergreen 50 ein fortschrittlicher, leistungsstarker Wafer- und Maskenwäscher, der für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungs- und Forschungs- und Entwicklungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist eine ideale Wahl für Waferreinigung, Läppen und Polieren, da es hervorragende Reinigungs- und Polierergebnisse mit hervorragenden optischen und thermischen Eigenschaften sowie einen geringen Stromverbrauch liefert. Das alles macht SSEC Evergreen 50 zur Top-Wahl für Halbleiterhersteller.
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