Gebraucht SVG 8600 #293758579 zu verkaufen

SVG 8600 ist ein Wafer- und Maskenwäscher, ein modernes Trocken- und Nassreinigungsgerät von SVG. Das System bietet eine effiziente, wiederholbare Reinigung und optimierte Verarbeitung für die heutigen mikrolithographieintensiven Halbleiter- und Flachbildschirm-Produktionslinien (FPD). Es ist mit einem harten Gehäuse der Klasse 1 und einem seitlichen Lademechanismus ausgestattet, der sowohl Wafer- als auch Maskensubstrate aufnehmen kann - in flachen oder Kassettenformaten. Der Waschvorgang beginnt mit einem patentierten Atmosphärendruck-Plasmastrahl, der optimiert ist, um Partikel, Filme und Rückstände von den Oberflächen der Wafer- oder Maskensubstrate zu entfernen. Dieser Plasmastrahl entwickelt eine Oberflächenladung, die es dem Verfahren ermöglicht, hochgeladene Metalle wie Kupfer und Aluminium zu entfernen. Als nächstes verwendet die Compound-Waschtechnik eine aggressive mechanische Bewegung in Kombination mit einem exklusiven Schmiermittel, um Verunreinigungen für eine effektivere Reinigung zu entfernen. Um den Waschprozess weiter zu verbessern, verfügt 8600 über eine mehrstufige Waschung. Diese Wäsche verwendet Hochdruck-Desionisierspray, um eine umfassendere und gründlichere Reinigung als jede einstufige Einheit, die derzeit auf dem Markt erhältlich ist. Das Spray wird von einer Bank aus fortgeschrittenen Düsen gelöst, die die gesamte Oberfläche des Substrats abdecken sollen. Neben den verbesserten Schrubbfähigkeiten verfügt SVG 8600 auch über eine Vielzahl von Präzisionsmessungen zur Überwachung und Steuerung des Reinigungsprozesses. Die Maschine verfügt über Kontaktabstands- und Waferdurchmessermessungen sowie über ein Kantenverfolgungswerkzeug, das eine präzise Prozesssteuerung ermöglicht. Schließlich verfügt 8600 über umfangreiche Softwarefunktionen, die eine einfache Integration in bestehende Prozesssteuerungsarchitekturen ermöglichen. Die Repeat Clean Cell (RCC) Subsystem Software automatisiert nicht nur den Reinigungsprozess, sondern erleichtert auch die Datenerfassung und -analyse, um zuverlässige und konsistente Ergebnisse von Run to Run zu gewährleisten. Auf diese Weise gewährleistet es höchste Reinigungsqualität für alle Arten von Substraten und Anwendungen. Insgesamt bietet SVG 8600 eine leistungsstarke und präzise Waschanlage, die die Qualität maximiert und Zykluszeiten minimiert. Mit seinem fortschrittlichen Reinigungsverfahren und umfangreichen Messungen bietet es eine saubere und konsistente Oberflächengüte sowie überlegene Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit. 8600 ist die ideale Wahl für jede mikrolithographieintensive Produktionslinie.