Gebraucht SVG 8620 #293609704 zu verkaufen
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SVG 8620 ist ein Präzisionswafer/Maskenwäscher, der für die Reinigung von Halbleiterscheiben und Substraten sowohl in der Produktion als auch in F & E-Anwendungen verwendet wird. 8620 ist ein Einkopfwäscher, der Oberflächen zwischen 150 mm und 200 mm behandeln kann. Der Wäscher wird von einem integrierten Zentrifugalkrafteinspeisungssystem angetrieben, das konsistente Waschgeschwindigkeiten von 0 bis 25 Bewegung/min bietet. Ein optionaler Indexierdreharm ist auch zum Schrubben von Substraten bis 300 mm erhältlich. Der Wäscher verfügt über eine räumliche Reinigungstechnik, die sicherstellt, dass Schmutz und Partikel im Betrieb effektiv vom Rand des Wafers entfernt werden. Dies wird durch Verwendung einer Querlaufbahn erreicht, bei der sich der Waschkopf über ein polyzyklisches wellenartiges Muster dreht. Dieses wellenförmige Muster folgt der Längsachse des Substrats und richtet anschließend den Waschapplikator zum Rand des Substrats hin, um dort angebrachte Verunreinigungen wirksam zu entfernen. Der Wäscher ist für die Verwendung mit destilliertem Wasser und einer niedrigen pH-Isopropanol-Reinigungslösung ausgelegt. Durch die Verwendung einer reinigungsmittelhaltigen Reinigungslösung auf Waschmittelbasis ist der Wäscher in der Lage, sowohl Wafer- als auch Maskensubstrate umfassend zu reinigen und sowohl organische als auch anorganische Verunreinigungen zu entfernen, die sonst durch einen individuellen Reinigungsprozess vermisst werden könnten. Die Maschine enthält auch eine integrierte CCD-Kamera, die eine visuelle Überwachung und Inspektion des Waschprozesses ermöglicht, um sicherzustellen, dass die Reinigung konsistent und effektiv ist. Der Scrubber kann auch automatisiert werden, um zusammen mit CMOS- und MEMS-Metallabscheidungs- und -entfernungsprozessen zu arbeiten, wodurch Projekte schneller und effizienter als herkömmliche Methoden abgeschlossen werden können. Diese Automatisierung wird durch die Verwendung eines Roboterarms erreicht, der es dem Waschkopf ermöglicht, sich im Gebrauch immer in der richtigen Position zu befinden sowie den Waschkopf nach jedem Gebrauch neu zu positionieren. Die Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen Computersystem ausgestattet, das die Überwachung der Reinigungszeit, der Verwendung von Reinigungslösungen und anderer Variablen ermöglicht, um eine optimale Leistung und Konsistenz zu gewährleisten. Insgesamt ist SVG 8620 ein effektiver und effizienter Wäscher, der in der Lage ist, Substrate zwischen 150 mm und 300 mm zu reinigen und sowohl organische als auch anorganische Verunreinigungen zu beseitigen. Die Maschine umfasst auch fortschrittliche Automatisierungs-, Inspektions- und Überwachungssysteme, die eine konsistente und effektive Reinigung unabhängig von Substratgröße oder -typ gewährleisten.
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