Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta #67641 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 67641
Wafergröße: 12"
Wafer clean tool, 12", 8 SVOS and 4 Spin
Includes:
Platform
SC1 Unit
SC2 Unit
DHF (1:10) Unit
O3 Cleaner
(Qty 4) SWC Spin Unit
(Qty 8) SVOS Unit
CO2 Injection Unit
03 Generator with O3 Killer
SC1 Concentration Monitor
SC2 Concentration Monitor
DHF (1:10) Concentration Monitor
(Qty 2) N2 Flow Controller.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta ist ein Wafer- und Maskenwäscher, der sich auf eine präzise und zuverlässige Reinigung von Photomasken und Wafern in der Halbleiterindustrie konzentriert. Es bietet überlegene Geschwindigkeit und Effizienz bei der Reinigung von Wafern. TEL Cellesta hat vier Modelle, die effektiv eine breite Palette von Photomasken reinigen, einschließlich Quarz, optische flach, Quarz und Glas. TOKYO ELECTRON Cellesta verwendet Nassätzen, ein Verfahren, das Masken- und Waferoberflächen mit Lösungen wie Fluorwasserstoff reinigt. Der Nassätzprozess hilft, Partikel und Verunreinigungen zu entfernen, die Defekte in den Photomasken verursachen können. Es sorgt für einwandfreie Drucke auf den Wafern und Masken unter Beibehaltung der Qualität der Endprodukte. Cellesta verwendet dreistufige Prozesse, um eine ordnungsgemäße Reinigung zu gewährleisten. Im ersten Schritt bereitet ein chemischer Wäscher die Waferoberfläche auf, um die Ätzlösung aufzunehmen. Dies hilft, alle Verunreinigungen von der Oberfläche freizusetzen, die dann für den zweiten Schritt, das schonende Nassätzen, bereit ist. Im zweiten Schritt wird mit einer präzisen und gleichmäßigen Düse die Ätzlösung auf die Oberfläche des Wafers gesprüht. Dies hilft, die Partikel, Verunreinigungen und organischen Rückstände aus dem Wafer zu lösen, ohne dessen chemische Zusammensetzung oder die empfindlichen optischen Eigenschaften zu schädigen. Im dritten Schritt ermöglicht TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta den Trocknungsprozess mit Hochenergiestrahlen zur Verdampfung der Ätzlösung. TEL Cellesta verfügt auch über ein zusätzliches Desoxidationsmodul, das ultraviolette Strahlung nutzt, um Restverunreinigungen auf der Maske und der Waferoberfläche zu reduzieren. Dies hilft, eine bessere Ätzlösung zu schaffen und die Reinigungszeit zu verringern. Darüber hinaus trägt ein High-Tech-Kontrollsystem dazu bei, Kontaminationen zu minimieren und den chemischen Einsatz von Ätzlösung zu verfolgen, wodurch Abfall und Kosten minimiert werden. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Cellesta ein effizienter Wafer- und Maskenwäscher, der hilft, die Photomasken und Wafer mit höchster Präzision und Genauigkeit zu reinigen. Es hilft, die chemische Zusammensetzung und die optischen Eigenschaften der Endprodukte zu erhalten.
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