Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9228401 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300 ist ein Wafer- und Maskenwäscher, der für Halbleiterprozessoperationen entwickelt wurde. Es ermöglicht eine hocheffiziente, partikelarme Verarbeitung. TEL NS 300 bietet einen automatisierten Wafer-Waschvorgang, der für größere Prozessabläufe von entscheidender Bedeutung ist, bei denen ein manueller Ansatz ineffizient sein kann. Dazu gehören das Waschen der Substratkante vor dem Beladen in die Prozesskammer, das Reinigen von gebrauchten Haltern und das Beenden von Reinigungsvorgängen nach der Verarbeitung. Der Wäscher ist mit einer Hauptplattform ausgestattet, die den Wafer und den Prozesshalter sowie einen Satz „Arme“ unterstützt, um den Wafer oder die Maske sicher zu halten und zum Schrubben zu drehen. Es ist in der Lage, horizontale oder vertikale Rotation, mit Geschwindigkeiten bis zu 7000 U/min. Der Wäscher verfügt auch über eine spezielle Tankausrüstung für Ätzlösungen, mit einem automatisierten Füll- und Ablaufsystem. Der Wäscher ist mit zwei Waschspendern ausgestattet, die sowohl flüssige als auch pulverbasierte Reinigungsmittel handhaben können. Diese werden auf dem Substrat und Prozesshalter ausgegeben, während sie bei hohen Drehzahlen gesponnen werden. Der Wäscher verfügt über eine effiziente Reihe von Funktionen zur Minimierung der Partikelbelastung, wie eine integrierte Vakuumeinheit, die Partikel einfängt und in einem Transferbehälter ablagert. Der Wäscher verfügt über einen Partikelzähler, der auf Partikel größer als 0,5 μ m überwacht, sowie über eine fortschrittliche Fernbedienung, die den Wäscher von autorisierten entfernten Orten aus steuern kann. Der NS 600 entspricht dem SEMI S2-Standard zur Minimierung der Partikelbelastung und ist der effizienteste seiner Klasse. Dieses branchenführende Produkt ist wegweisend für die Entwicklung sauberer und effizienter Halbleiterprozesse.