Gebraucht ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SCS i124 #9179533 zu verkaufen
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ID: 9179533
Substrate cleaning system
Cleaning options:
Pressure / Megasonic nozzles
Chemical dispenses
Heated DI water
Substrates: Upto 12” to 20” diameter.
ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124 ist ein halbautomatischer Wafer- und Maskenwäscher, der für hohe Volumenanforderungen in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Die Maschine ist in der Lage, mehrere Wafer- und Maskenkombinationen mit einem Durchsatz von bis zu 12 Wafern pro Minute zu waschen. UTE SCS i124 bietet eine präzise Kontrolle des Waschprozesses, um qualitativ hochwertige Ergebnisse für eine gleichbleibende Geräteleistung zu gewährleisten. ULTRA-T EQUIPMENT SCSI124 verfügt über eine integrierte Wafer-Transportausrüstung mit einem speziellen Transferarm. Es bietet einen reibungslosen und zuverlässigen Prozess, um Wafer und Masken auf die Wäscher und in die Reinigungskammer zu bewegen. Der Wäscher wird mit einer Trocknungsstation zur gründlichen Reinigung beladen. Der Reinigungsprozess kann eingestellt werden, um eine breite Palette von Ergebnissen zu erzielen, einschließlich aggressiver Reinigung organischer Partikel, Reinigung von Oxidschichten, Oxidätzen oder Wiederaufbereitung. SCSI124 ist mit dreiachsigen Wäschermodulen und automatisierten Reinigungsprozessen ausgestattet, die einen schnellen Übergang vom Waschen zum Trocknen oder einen zusätzlichen Waschgang ermöglichen. Die Waschmodule verfügen über einen einstellbaren Reinigungsdruck und eine Reinigungsgeschwindigkeit zur präzisen Steuerung der Reinigungsparameter. ULTRA-T EQUIPMENT SCS i124 ist aufgrund der variablen Reinigungsparameter des Wrubbers in der Lage, unabhängig von der Waferoberfläche qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. UTE SCSI124 ist auch mit einem fortschrittlichen Sichtsystem ausgestattet, das zur Überwachung der Wafer- und Maskenbedingungen vor und nach dem Schrubben verwendet wird. Die Vision Unit wurde entwickelt, um Verunreinigungen so klein wie die im Bereich von 0,2um-7um zu erkennen und zu identifizieren. Die Vision-Maschine bietet Echtzeit-Feedback zu den Scrubbing-Ergebnissen, so dass das Verarbeitungspersonal bei Bedarf Anpassungen vornehmen kann. ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCSI124 verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale in seinem Design. Es ist mit einem aktiv überwachten Werkzeug zur Schadens-/Oxidationserkennung ausgelegt und in der Lage, Wafer- und Maskenoberflächen automatisch zu überwachen. Optionales Zubehör, das mit der Maschine erhältlich ist, wie Stickstoff- und Feuchtesteuergeräte, Spin-Rinser, farbbasierte Visionssysteme und Trichterbündler, ermöglichen eine effizientere und ertragreichere Verarbeitung. SCS i124 bietet einen zuverlässigen, hochwertigen und effizienten Wäscher. Es ist einfach zu warten und bietet eine signifikante Reduzierung der Reinigungszykluszeit und -kosten durch konstant ausgezeichnete Ergebnisse. ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124 ist eine ideale Wahl für jede Halbleiterproduktionsumgebung, die die Produktivität mit präziser Wafer- und Maskenreinigung maximieren möchte.
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