Gebraucht ASM WS 896 #9134186 zu verkaufen
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ASM WS 896 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für eine kostengünstige Produktion. Die Maschine verwendet eine gekrümmte Feldbeleuchtung mit ausgezeichneter Merkmalskontrolle, die die Herstellung von Mikrostrukturen mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Mit einem überlegenen Design insgesamt ist das System schnell und effizient und unterstützt eine breite Palette von Anwendungen. ASM WS896 Wafer Stepper verfügt über eine Feldplatte Design und Hexapod mehrachsige Bewegungseinheit, die hochpräzise Ausrichtung Flexibilität und außergewöhnliche Durchsatzraten ermöglicht. Der Hexapod ermöglicht es jedem Wafer, sich unabhängig zu bewegen und gibt maximale Stabilität und Durchsatz. Darüber hinaus kann der Stepper mehrere Funktionen wie Führung, Registrierung und Wafer-Scan ausführen. Die Maschine weist außerdem eine hochwertige optische Anordnung mit einem telezentrischen Linsenwerkzeug zur Gestaltung und Optimierung von Bildern in der Waferstufe auf. Dieses optische Element stellt sicher, dass das Muster genau auf den Wafer projiziert wird, und das radiale Schlitzfeld hilft, die Leistung und Genauigkeit des Modells zu erhöhen. Darüber hinaus unterstützt das Gerät anspruchsvolle Belichtungskorrekturfunktionen, die Fokus- und Musterfehler reduzieren und den Prozessdurchsatz erhöhen. Das System bietet auch eine breite Palette von Prozess- und Bildsteuerungsfunktionen, die eine zuverlässige Produktion hochwertiger Mikrostrukturen gewährleisten. Zu diesen Funktionen gehören die automatische Fokusunterbrechungserkennung, erweiterte Kantenplatzierungsgenauigkeit, Cluster-Platzierungssteuerung und automatische Kantenerkennungsausrichtung. Zusätzlich verwendet die Einheit einen mehrstufigen Kompensator und eine automatische Düsendrehung, die eine genaue Platzierung von Mikrostrukturen gewährleistet. Abschließend ist WS 896 ein hochmoderner Wafer-Stepper, der für eine kostengünstige Produktion ausgelegt ist. Mit überlegenem Design, hochwertiger Optik und einer Reihe von Leistungs- und Steuerungsfunktionen ist die Maschine schnell, effizient und gewährleistet eine zuverlässige Produktion von Mikrostrukturen mit hoher Genauigkeit.
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