Gebraucht ASM WS 896 #9181638 zu verkaufen

ASM WS 896 ist ein Wafer-Stepper, der eine hochmoderne optische mikrolithographische Maschine verwendet, um Wafer für die Produktion von IC und MEMS mit hohem Volumen zu belichten und zu entwickeln. Das Gerät umfasst ein mehrachsiges Wafer-Handling-System, ein integriertes Exposure-Subsystem, eine fortschrittliche Prozessüberwachungseinheit und eine vollautomatisierte Wafer-Reinigungsstation. Der Stepper verwendet eine 300 mm pro Sekunde Stufengeschwindigkeit (mit Beschleunigungs-/Verzögerungskurven), um eine genaue und hohe Durchsatzmusterung über einen Bereich von Wafergrößen zu gewährleisten. Zusätzlich bildet die lasergeführte Zentrierung die peripheren Kanten des Wafers für eine optimale Platzierungsgenauigkeit ab. ASM WS896 verfügt über eine hochauflösende Wafer-Positioniermaschine, die große Scanfelder für mehrere Belichtungstechniken ermöglicht. Seine optische Abtastausrüstung umfasst eine variable numerische Aperturprojektion mit achromatischen Linsen und zwei Belichtungsquellen (g-line und i-line). Das Tool ist auch mit einer erweiterten Mehrzonenstufe ausgestattet, die mit dem Scanner-zu-Stufe-Synchronisationselement eines geschlossenen Kreislaufs integriert ist, um die Genauigkeit zu verbessern. Das Modell verwendet fortgeschrittene TTL und TTL mit optionalen binären Korrekturausrichtungstechniken, die zur Korrektur lithographischer Fehler und zur Sicherstellung einer hochpräzisen Musterplatzierung verwendet werden. Eine automatisierte Schüttgutanlage sorgt zudem für effizientes Be- und Entladen von Wafern für einen verbesserten Durchsatz. In Bezug auf die Prozessüberwachungsfunktionen ist WS 896 mit einem proprietären Messsystem für Bildgebung und kritische Dimension (CD) ausgestattet. Dieses Gerät überwacht Vor- und Nachbelichtungsbilder jeder Matrize auf automatische Fehlererkennung. Zusätzlich dient eine optisch basierte Prozesssteuerungsmaschine zur Überwachung von Tief- und Tiefdruckprozessen und zur Erkennung von Prozessdrift. Das Werkzeug ist auch in der Lage, belichtete Wafer automatisch mit einem trockenen Nassreinigungsprozess zu reinigen. Dieses Verfahren reinigt die Waferoberfläche, ohne zusätzliche Defekte zu erzeugen, Waferausbeute und Qualität zu verbessern. Insgesamt ist WS896 ein leistungsfähiges Wafer-Stepper-Asset, das für die Hochvolumen-IC- und MEMS-Produktion verwendet werden kann. Es verfügt über ein Modell zur Positionierung von Wafern mit hoher Genauigkeit, das große Scanfelder ermöglicht und eine Ausrichteinrichtung mit geschlossener Schleife für eine verbesserte Genauigkeit verwendet. Das System ist außerdem mit einer bildgebenden und CD-Messtechnik, einer automatisierten Wafer-Reinigungsstation und einer optisch basierten Prozesssteuerungsmaschine ausgestattet, um die Prozessstabilität zu gewährleisten.