Gebraucht ASML 100D #293817343 zu verkaufen

ASML 100D ist ein Wafer-Stepper oder eine Lithographie-Maschine, die verwendet wird, um feinere Detailmuster auf Halbleiterscheiben im Prozess der Halbleiterherstellung zu erzeugen. Die Maschine wird in Verbindung mit einer Photolackbeschichtung auf dem Wafersubstrat eingesetzt, die auf das von der Maschinenoptik emittierte Licht reagiert, um Schaltungsmusterentwürfe auf das Substrat zu projizieren. ASML/ 100D ist in der Lage, extrem präzise Musterbilder bis zu einer Auflösung von 0,25 μ m oder 250 nm zu erzeugen. Die Projektionsoptik der Maschine basiert auf einer kinematischen Spiegelausrüstung, die volle Flexibilität in Größe, Form und Ausrichtung des Projektionsbildes bietet. Das Optiksystem wird verwendet, um die Größe des Musterbildes zwischen 5 μ m und 200 μ m mit einer Steigungsgenauigkeit von 0,5 μ m in allen Achsen einzustellen. 100D wurde für maximale Leistung und Flexibilität mit Funktionen wie integrierter direkter Waferausrichtung, großer Optik der Apertureinheit und einer Bildschrittweite von 0,5 μ m konzipiert. Die Maschine verfügt über eine mehrstufige Trägheitsstufe, die eine hohe Genauigkeit und reibungslose Bewegung während des gesamten Wafer-Scanzyklus bietet, während die Wafer-Klemmen aufgebaut sind, um die mechanische Belastung der Wafer zu verringern ./ 100D verfügt auch über eine verbesserte Resist-Gleichförmigkeitsmaschine, die das Bild innerhalb der Resist-Schicht modifizieren kann, um Verzerrungen, unerwünschte Lichtaustritte oder andere Prozessvariablen zu verursachen. Mit dieser Funktion können Benutzer kritische Bemaßungen in den Wafermustern bis zu den kleinsten Formelementgrößen beibehalten. Die Maschine ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser zu verarbeiten, und High-End-Modelle verfügen über 0,5 zweite Belichtungszeiten, die eine sehr schnelle Verarbeitung von Substratmaterialien ermöglichen. ASML 100D unterstützt auch die mehrstufige Steuerung der Bildform und -größe sowie eine hochpräzise Ausrichtungsstufe für Wafer und eine wiederholbare Optimierung der Musterausrichtung auf die Substratoberfläche. ASML/ 100D stellt eine leistungsstarke Lithographiemaschine dar, die ein beispielloses Maß an Genauigkeit und Präzision für die Halbleiterherstellung bietet. Sein fortschrittliches Design macht es zu einer beliebten Wahl für hochwertige Fertigungs- und Produktionsprozesse in der gesamten Branche.