Gebraucht ASML 2500/40 #293827878 zu verkaufen

ASML 2500/40 ist eine fortschrittliche Stufen- und Scan-Lithographieausrüstung, die für die Lithographie der komplexesten integrierten Schaltungsmuster entwickelt wurde. Diese Maschine ist gut geeignet für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, mit ihrer fortschrittlichen nanoskaligen Auflösung und der Fähigkeit, qualitativ hochwertige Bildgebung zu produzieren. ASML 2500/40 verwendet ein Neutraldichtefilter und eine Vier-Quadranten-Kollektorlinse, um eine hohe NA-Optik und Subwellenlängengengenauigkeit zu erreichen. Diese Funktion ermöglicht es dem Wafer-Stepper, eine äußerst genaue und konsistente Abbildung der fortschrittlichsten lithographischen Funktionen der integrierten Schaltung zu erzeugen. 2500/40 bietet schnelle, berührungslose Waferausrichtung und schnelle Scangeschwindigkeiten durch eine patentierte, hochleistungsfähige Linearmotortechnologie. Dadurch ist das System für den Produktionsdurchsatz gut geeignet, da es keine manuelle Ausrichtung benötigt und extrem hohe Scangeschwindigkeiten ermöglicht. Zur präzisen Ausrichtung des Retikels auf den Wafer verwendet die Maschine auch eine Reticle-Level-Mikropositioniereinheit. Diese Mikropositioniermaschine wurde entwickelt, um: Chip-zu-Chip-Variation zu reduzieren; ein hohes Ertragsniveau zu gewährleisten; und maximieren Zykluszeiten. Es hilft auch, manuelle Ausrichtungsfehler zu beseitigen und Ungleichmäßigkeit bei der Exposition zu minimieren. Der Wafer-Stepper nutzt einen vollautomatischen, Non-Stop-Betrieb, um einen hohen Durchsatz aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus ist diese Maschine in der Lage, eine mehrfache Musterbelichtung mit über- oder zweistufiger Belichtungsfähigkeit zu erreichen. Damit eignen sich 2500/40 sowohl für kostengünstige als auch für High-End-Einbettungsmasken. Das Tool ist hochintegriert und mit einer ausgeklügelten Lithographie-Steuerungssoftware ausgestattet. Diese Software ermöglicht die einfache Einrichtung von Anlagen, den sicheren Betrieb und den Fernzugriff für die Datenprotokollierung und Prozessmodellierung. Darüber hinaus wurde die Software entwickelt, um die Wafer- und Retikle-Leistung zu überwachen sowie die Installations- und Ausrichtungsgenauigkeit des Modells zu überwachen. Insgesamt ist ASML 2500/40 ein hochentwickelter, fortschrittlicher Stepper, der in der Lage ist, extrem hochauflösende Bildgebung mit nanoskaliger Genauigkeit für die Herstellung hochkomplexer integrierter Schaltungsmuster zu erzeugen. Dieses Gerät eignet sich aufgrund seiner extrem schnellen Ausrichtungs- und Abtastgeschwindigkeiten, des automatisierten Betriebs und der hochpräzisen Lithographie-Steuerungssoftware gut für die Geräteherstellung.