Gebraucht ASML 2500/40 #293828001 zu verkaufen

Hersteller
ASML
Modell
2500/40
ID: 293828001
Wafergröße: 4"-6"
Steppers, 4"-6" Silicon Carbide (SiC).
ASML 2500/40 ist ein modernster Wafer-Stepper von ASML, einem Technologieführer in der optischen Lithographie. ASML 2500/40 verwendet eine fortschrittliche Optik, um ein Muster mit höchster Genauigkeit und Auflösung auf einen Siliziumwafer abzubilden und zu projizieren. 2500/40 verfügt über 19 unabhängige Achsen, die volle stellare und Kipp-/Drehkontrolle bieten, um den Wafer während des Lithographie-Prozesses zu inspizieren und einzustellen. Im Zentrum der Maschine stehen ein mehrachsiger Gimbal-Spiegel und eine 432-segmentierte Projektionslinsenanordnung. Das Gerät hat eine Betriebstemperatur von 10C-30C und eine Vakuumgleichrichtung, die die erforderliche Druckumgebung aufrechterhält. Die Projektionslinse verwendet einen Argonfluoridlaser, um Muster genau auf einen Siliziumwafer zu projizieren. 2500/40 verwenden Vollfeldbestrahlung, um hochpräzise Muster mit Funktionsgrößen von 0,2 Mikrometer bis 40,5 Mikrometer zu erzeugen. Die Maschine umfasst auch mehrere automatisierte Prozesse wie Waferausrichtung, Fehlermanagement und Rezepturentwicklung. ASML 2500/40 ist in der Lage, einen Wafer in weniger als 30 Sekunden mit einem Produktionsdurchsatz von bis zu 500 Wafern pro Stunde zu beschaffen. Um eine hohe Leistung zu gewährleisten, ist ASML 2500/40 mit einer fortschrittlichen Wellenlängeneinheit ausgestattet, die die Kontrolle über das X/Y-polarisierte Licht für eine verbesserte Musterplatzierung, -überlagerung und -reaktion bietet. Eine unabhängige Beleuchtungsmaschine bietet optimierte Bildtreue und Kontrast. Ebenfalls Teil des Tools sind anspruchsvolle Echtzeit-Fehlererkennungs- und Korrekturalgorithmen, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. 2500/40 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für hochpräzise und hochdurchsatzreiche Lithographiebetriebe. Mit seinem Multiaxis-Design, hochwertiger Optik und fortschrittlicher Automatisierung bietet 2500/40 Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die unübertroffen ist. Diese effiziente und zuverlässige Anlage ist ideal für alle Arten moderner Halbleiterherstellung und somit ein leistungsstarkes Werkzeug für die Präzision und schnelle Herstellung integrierter Schaltungen.
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