Gebraucht ASML 2500/40 #293828002 zu verkaufen
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ASML 2500/40 Wafer Stepper ist eine anspruchsvolle Halbleiterlithographie-Ausrüstung, die für die Serienfertigung integrierter Schaltungen ausgelegt ist. Es ist ein dedizierter Stepper mit höchster Präzision und Effizienz. Das System besteht aus vier großen Teilsystemen: einem Lithographiemodul, einem Bühnenmodul, einem Manipulatormodul und einer digitalen Computersteuerung. Das Lithographiemodul dient zur positiven Übertragung von Daten des resistbeschichteten Wafers. Es enthält eine Projektionsmaschine, eine Fotomaske und eine Beleuchtungsquelle für eine optimale Bildübertragung. Das Bühnenmodul besteht aus einem Bühnenboden, einem X-Y- θ Manipulator und einem Linsenwerkzeug. Es wird verwendet, um die Projektionsoptik für eine korrekte und präzise Bildübertragung zu steuern. Das Manipulatormodul wird verwendet, um den Wafer hin und her zu bewegen und bietet eine schnelle Scan-Fähigkeit für maximalen Durchsatz. Die digitale Steuerung besteht aus einem Hochgeschwindigkeitsprozessor, einer Kommunikationsschnittstelle und einem Softwarepaket, um Anwendern optimale Leistung und exzellenten Service zu bieten. Es bietet die optimale Schnittstelle zwischen dem Benutzer und dem Modell. Das Gerät verfügt außerdem über eine Doppelstrahlfähigkeit, um eine maximale Reduzierung der Schreibzeit und der Waferverzerrung zu gewährleisten. Die fortschrittlichen Funktionen und die außergewöhnliche Genauigkeit von ASML 2500/40 Wafer Stepper machen es zu einer idealen Wahl für Unternehmen, die hochwertige Lithographielösungen benötigen. Dieses Hochleistungssystem ermöglicht Geschwindigkeiten von bis zu 175 Wafern pro Stunde und sorgt für maximalen Durchsatz. Die hohe Genauigkeit der geometrischen Leistung der Einheit wird durch die Regelmaschine gewährleistet, die eine genaue und wiederholbare Bildgebung ermöglicht. Die hochwertigen Linsen von 2500/40 verfügen über eine dynamische Fokuseinstellung, eine Off-Axis-Bildübertragung und eine präzise Off-Axis-Laserausrichtung. 2500/40 Wafer Stepper ist auch mit einem Top-End-Photomasken-Wechsler ausgestattet, der den schnellen Austausch von Masken ermöglicht, ohne die optische Leistung zu beeinträchtigen. Diese Funktion beseitigt mögliche Waferdruckfehler, die durch Linsenfokus-Drift verursacht werden. Um eine einfache Bedienung und Wartung sicherzustellen, verfügt das Tool schließlich über eine erweiterte Benutzeroberfläche, Diagnose- und Wiederherstellungsfunktionen sowie eine automatisierte Kalibrierroutine.
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