Gebraucht ASML 5000 / 55 #9049734 zu verkaufen

ASML 5000/55 ist ein Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiterprodukten verwendet wird. Es ist ein hochentwickeltes, lithographiebasiertes Werkzeug, das in der Lage ist, winzige Merkmale auf ein Substrat abzubilden. ASML 5000/55 ist eine Elektronenstrahl (E-Strahl) Lithographie-Ausrüstung, die eine Rasterelektronensäule und zwei Stufen der Optik verwendet, um Muster auf einem Wafer oder Chip abzubilden. Die E-Strahlsäule verwendet einen Hochspannungsstrahl, um Elektronen auf eine Oberfläche zu fokussieren und abzulenken, wo sie ein Bild erzeugt. Die Optikstufen vergrößern und fokussieren den Strahl, um ein Bild mit extrem feiner Auflösung zu erzeugen. 5000/55 ist in der Lage, Funktionsgrößen bis zu 4 nm abzubilden, was für die Entwicklung immer kleinerer und schnellerer Mikroprozessoren unerlässlich ist. Es ist für die Serienproduktion ausgelegt und kann bis zu 6 "Wafer mit einer Zykluszeit von bis zu 5 Sekunden pro Wafer handhaben. Das System besteht aus mehreren Einzelkomponenten, darunter Elektronensäule, Optikstufen, Strahldecken und Optikblenden, Vakuumsysteme und eine Wafertransporteinheit. Die Elektronensäule ist ein Präzisionsmechanismus aus Hochspannungselektronik, Elektromagneten und Komponenten, die zum Erzeugen und Lenken des Elektronenstrahls verwendet werden. Die Optikstufen verwenden eine Vielzahl von Elementen, um sicherzustellen, dass der Strahl so manipuliert wird, dass er die gewünschten Merkmale auf dem Substrat erzeugt. Die Strahldecken und Optikverschlüsse werden verwendet, um den Wechselwirkungspunkt zwischen Strahl und Substrat zu begrenzen, während die Vakuummaschine eine für die Bildgebung ideale Niederdruckumgebung schafft. Schließlich sorgt das Wafertransportwerkzeug in Verbindung mit den Optikblenden dafür, dass das Substrat während des Abbildungsprozesses sicher gehalten wird. 5000/55 hat eine Grundfläche von weniger als 6 Quadratmetern und gilt als relativ kompakt für einen Vorteil seiner Fähigkeiten. Es ist einfach zu installieren und zu bedienen, aber die komplexe Mechanik und Technik erforderlich, um die notwendige Vakuumumgebung zu schaffen und die Hochspannung innerhalb der Säule zu halten erfordert einige technische Expertise.