Gebraucht ASML 5500 / 100 #9040162 zu verkaufen
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ASML 5500/100 ist eine Wafer-Stepper-Ausrüstung, die bei der Herstellung von Computerchips verwendet wird. Das System ermöglicht die präzise Übertragung von Informationen von einer Maske oder einem Retikel auf den Wafer während des Photolithographie-Prozesses. Diese Einheit ist in der Lage, Informationen genau und konsistent mit minimalem Benutzereingriff zu übertragen, was eine hohe Qualität und effiziente Produktion von Halbleiterkomponenten ermöglicht. ASML 5500/100 nutzt ein Sechs-Achsen-Design mit einer Maschine mit 6 unabhängigen motorisierten Komponenten, die nur 2 Bewegungsachsen mit Neigung und Rolle opfern. Dies ermöglicht eine reibungslose Bewegung des Substrats, um Abbildungspositionen zu zielen, schneller als je zuvor. Es ist in der Lage, Substrate bis zu 300mm zu handhaben, mit einer Bildgröße bis zu 6.2mmx6.2mm. Das Werkzeug hat auch ein maximales Sichtfeld von 0,7um x 0,7um, mit einer Auflösung von 0,1um. Das Asset bietet hochpräzise optische Dienste wie optische Bildgebung, optische Musterung und Maskenausrichtung. Die optische Abbildung ermöglicht die Übertragung eines Bildes von einem Substrat auf ein anderes, während die optische Strukturierung eine kontinuierliche, hochpräzise Verfolgbarkeit der Strukturierungsinformationen ermöglicht. Die hochpräzise Maskenausrichtbarkeit sorgt dafür, dass das Muster genau reproduziert wird. Neben den optischen Diensten ist das Modell auch in der Lage, Belichtungssteuerungsdienste bereitzustellen, die eine genaue und konsistente Belichtung der Maske oder des Retikels mit dem Substrat gewährleisten. Das Gerät verwendet mehrere Arten von Wellenfrontsensoren, um Aberrationen und Verzerrungen in den Wellenfronten zu erkennen, so dass Korrekturen im Belichtungsprozess vorgenommen werden können. Insgesamt ist 5500/100 ein fortschrittliches Wafer-Schrittsystem, das hochpräzise optische Dienste und Belichtungssteuerungsfunktionen bereitstellen kann. Es ist in der Lage, Bilder von einem Substrat auf ein anderes genau zu übertragen, so dass die gleichbleibende Produktion von Halbleiterbauelementen mit minimalem Benutzereingriff ermöglicht wird.
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