Gebraucht ASML 5500 / 60 #9092942 zu verkaufen

ASML 5500/60 ist ein Wafer-Stepper, der für die Photolithographie in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es handelt sich um ein hochpräzises, automatisiertes Abbildungsgerät, mit dem integrierte Schaltungen und andere mikroskopische Merkmale auf der Oberfläche von Halbleiterchips geformt werden. Die Maschine ist im wesentlichen ein großes Mikroskop, das verwendet wird, um Schaltungen und andere Muster auf den Wafersubstraten genau zu belichten. Photomasken werden über den Objektwafer ausgerichtet und fokussiert und selektiv mit einer Lichtquelle durch ein optisches Quarzfenster belichtet. Die Genauigkeit, die zur Herstellung solcher Muster erforderlich ist, erfordert eine komplizierte Ausrichtung und enorme Genauigkeit, und 5500/60 ist mit einer Reihe von Technologien ausgestattet, um dies zu erreichen. ASML 5500/60 ist mit piezoelektrischen geradlinigen Bühnenmechanismen ausgestattet, die eine glatte lineare Bewegung mit Mikron-Auflösung bieten. Mehrere Kompensationsverfahren und Sensoren ermöglichen Präzisionsbewegungen, darunter encoderunterstützte Stufenregler, interferometrisches Stufenlegen und optoelektronische Fokuserkennung, die es der Maschine ermöglichen, Muster genau auf den Wafer zu übertragen. Das System ist auch mit einer automatischen Ausrichtung ausgestattet, bei der die Maske mit dem Wafer verglichen wird, um eine genaue Platzierung zu gewährleisten. Für die Verarbeitung bietet 5500/60 eine Vielzahl von Lichtquellen, numerischen Öffnungen und Belichtungszeiten, die einfach konfiguriert und angepasst werden können. Die Maschine ist ferner mit einer spezialisierten laminaren Stufe ausgestattet, die sich parallel zur Substratoberfläche bewegt, die Niveauregulierung erhöht und es der Optik ermöglicht, verschiedene Tiefen für variable Überhänge zu durchlaufen. Die ASML 5500/60 ist zudem mit robusten Sicherheitsmerkmalen wie Notabschaltsystemen und einer automatischen Abruffunktion ausgestattet, die den Objektwafer schnell wieder in die Startposition bringen kann, sollte der Wafertransport beeinträchtigt werden. Weitere Merkmale sind eine grafische Benutzeroberfläche, integrierte Isolations- und Umgebungskontrollen, aktive Vibrationsreduzierung und Bildanalyse nach der Belichtung für eine verbesserte Qualitätskontrolle. Abschließend ist 5500/60 ein vielseitiger und präziser Wafer-Stepper, mit dem integrierte Schaltungen und andere mikroskopische Merkmale auf der Oberfläche von Halbleiterchips geformt werden. Die Maschine ist mit einer Reihe von anspruchsvollen Bewegungs-, Ausrichtungs- und Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die alle einen hocheffizienten und kollaborativen Lithographieprozess ermöglichen.