Gebraucht ASML AT 1100 #293664232 zu verkaufen

ASML AT 1100 ist ein hochpräzises Wafer-Stepper und Lithographie-Tool für die heute führenden Halbleiterhersteller. Es verwendet fortschrittliche Technologie, um minusige Funktionen auf Halbleiterscheiben mit einer Auflösung von 0,6 Mikrometern zu mustern. Der 4-Achsen-Scanner richtet Retikel auf die Waferbühne aus und kann einen Bereich von 2 „(50,8 mm) bis 12“ (304,8 mm) abdecken. Die parallele mehrachsige Luftlagerkonstruktion der Maschine ermöglicht eine präzise Ausrichtung und Bewegungssteuerung der Retikel und Wafer. Die Anwendung der kurzwelligen Immersions-Lithographie ermöglicht eine weitere Reduzierung der Merkmalsgrößen. Das optische Zweifeld-Design mit einer Silizium-Tauchlinse bietet die Möglichkeit, eine Tiefenreduzierung um den Faktor 6 zu erzielen.Dadurch können Funktionen noch enger miteinander strukturiert werden. Zusätzlich liefert die Zweifeld-Optik eine hohe numerische Apertur von 0,93, was zu einer schnelleren Zykluszeit führt. AT 1100 ist ein schlüsselfertiges System, das mit ASML ACE-Software betrieben wird. Es verwendet optimale Laserquelleneigenschaften aus Gleichmäßigkeit, Intensität und mehrschichtigen Energieeinheitlichkeitsalgorithmen, um eine optimale UV-Exposition zu erreichen. Es verwendet auch ein TML (Time Modulated Laser) -System, um thermisch induzierte Verzerrungen zu reduzieren, die bei der Laserbeleuchtung häufig auftreten. ASML AT 1100 bietet mit dem Placement Monitor (PM-1) und der Wafer-Bühnenmesstechnik auch fortschrittliche Overlay-Leistung und Genauigkeit. Die Maschine hat eine Positionsgenauigkeit von 4 nm in X/Y, 2 Winkeln und 5 nm in Z, um maximale Genauigkeit während der Belichtung zu gewährleisten. Die Maschine ist mit einem integrierten motorisierten Co-Aligner ausgestattet, der eine schnelle, genaue und wiederholbare Ausrichtung ohne manuelle Anpassungen ermöglicht. Um höchste Zuverlässigkeit und Durchsatz zu garantieren, ist AT 1100 mit einem intelligenten Servicemodul ausgestattet, das kleinere Probleme und Warnungsoperatoren erkennen kann. Zusätzlich ist eine umfassende Palette von Prozessüberwachungs- und Überprüfungstools integriert, um eine maximale Kontrolle über den Prozess zu gewährleisten. Abschließend ist ASML AT 1100 ein Präzisions-Wafer-Stepper für Halbleiteranwendungen mit einer Auflösung von 0,6 Mikrometern und erweiterten Funktionen wie dem TML-System und integriertem Co-Aligner. Dank des intelligenten Servicemoduls und der Prozessüberwachung bietet die Maschine ein hohes Maß an Genauigkeit und Zuverlässigkeit. AT 1100 ist eine zuverlässige und fähige Wahl für die Herstellung von Halbleiterscheiben.