Gebraucht ASML AT 1150 #293664233 zu verkaufen

ASML AT 1150 ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Stepper, der Herstellern hilft, Miniatur-Schaltungskomponenten für die Elektronikindustrie zu erstellen. Der Stepper ist in der Lage, ein Muster automatisch und präzise lithographisch auf die Oberfläche der in diesem Herstellungsprozess verwendeten Wafer auszusetzen. Der Stepper arbeitet mit hoher Präzision und ist damit ein wesentlicher Bestandteil kommerzieller Produktionslinien für Schaltungen und Komponenten, die in Produkten wie Datenchips und Mikroprozessoren verwendet werden. Das Gerät basiert auf einem hochentwickelten zweistufigen optischen System, das auf einer doppelten Nipkow-Platte und einer DUV-Lichtquelle (tief ultraviolett) basiert, die eine maximale Auflösung von 4,5 Nanometern und das Potenzial bietet, extrem kleine Muster auf einem Wafer zu erzeugen. Dadurch ist die lithographische Leistung des Steppers von extrem hoher Qualität. Der Stepper arbeitet auch mit einer geräuscharmen Plattform und verwendet eine Reihe von hochpräzisen linearen Motorstufen, um den Wafer in der X-, Y- und Z-Achse zwischen Belichtungsschritten zu bewegen. Dies gewährleistet eine präzise und genaue Ausrichtung verschiedener struktureller Ebenen. Ebenfalls enthalten sind ein umfassender Satz digitaler Steuerungsfunktionen wie Parameter für die Z-Achsen-Bewegung, Belichtungszeit und mehrere Ausrichtungsstufen. Lesegeräte stehen zur Messung von Ausrichtungsmarken rund um den Umfang eines Wafers, LWD (Line Width Doubling) -Checks, Fokuserkennung und Luftbildgebung zur Auswertung und Charakterisierung von Prozessergebnissen zur Verfügung. Ein Indexer für die vollständige Reticle-Translation ist auch für beispiellose Gleichmäßigkeit der Scan-Belichtung über die gesamte Form und Größe des Wafers verfügbar. Darüber hinaus ist AT 1150 mit umfangreichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet und bietet eine mehrstufige Passwortschutzmaschine. All dies macht ASML AT 1150 zu einer optimalen Wahl für die Serienfertigung von Speicherwafern, Logikwafern, DRAM-Wafern, nichtflüchtigen Speicherwafern und anderen High-End-Schaltungen.