Gebraucht ASML AT-1150C #9226883 zu verkaufen

ASML AT-1150C
Hersteller
ASML
Modell
AT-1150C
ID: 9226883
Wafergröße: 12"
ARF Scanners, 12" 193 nm.
ASML AT-1150C ist ein hochpräziser Wafer-Stepper zur Herstellung kleinerer Halbleiterbauelemente wie MEMS, QFNs und LED-Pakete. Das Gerät verfügt über ein 5,5-Zoll-Sichtfeld, das eine Abbildung selbst komplexester Strukturen mit hoher Bildtreue ermöglicht. Seine 5X Reduktionsoptik mit hoher numerischer Apertur (NA) von 0,60, zusammen mit stepperbasierter Beugungsreduktion, führt zu einer Auflösung von 1,3 Mikrometern über das gesamte Sichtfeld. Das System ist in drei Komponenten zusammengefasst: die Optikeinheit, der Controller und der Mustergenerator. Die Optics Machine besteht aus einem Raumfilter, einer Bühne, einer Objektivlinse, einem Beleuchter und einem Aligner. Die Bühne ist mit dem Controller verbunden und wird verwendet, um die Probe unter dem Objektiv genau auszurichten. Mit dem Aligner wird die Winkelausrichtung des Objektivs zur präzisen Positionierung des bildgebenden Werkzeugs eingestellt. Der Controller dient zur Steuerung und Verwaltung des gesamten Assets sowie zur Speicherung des generierten Musters. Die Mustergeneratorkomponente des Modells basiert auf einer Laserquelle und erzeugt hochauflösende Muster. Es kann beugungsbegrenzte Bilder mit Auflösungen von 0,5 Mikrometern über das gesamte Sichtfeld erzeugen. Diese Funktion, zusammen mit 5X Reduktion Bildgebung und High NA Optik, macht es ideal für die Erzeugung von komplexen Strukturen mit hoher Bildtreue. Dieses Gerät ist sehr anpassbar und kann mit verschiedenen Optionen wie mehreren Linsen, Temperaturreglern und verschiedenen Messgeräten konfiguriert werden. Es ist auch mit Industriestandard-Software zur Maskenausrichtung und Mustererzeugung integriert. Die in diesem System eingesetzte Technologie ist fortschrittlich und äußerst zuverlässig. Das Gerät ist für den Nonstop-Betrieb konzipiert und bietet geringe Wartungskosten. Diese Maschine ist zu hohen Erträgen in der Lage und produziert überlegene Bilder in einer Reihe von Formaten. Zusammenfassend ist ASML AT 1150C ein erstklassiges Wafer-Stepper-Tool, das speziell entwickelt wurde, um hochgenaue und qualitativ hochwertige Bilder mit höchster Präzision zu produzieren. Seine fortschrittliche Optik, hochauflösender Mustergenerator und verschiedene anpassbare Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung komplexer Strukturen.
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