Gebraucht ASML AT-1150C #9292620 zu verkaufen

ASML AT-1150C ist ein Wafer-Stepper oder eine Photolithographie-Maschine, die in Halbleiter- und anderen Industriezweigen zur Herstellung integrierter Schaltungen und anderer Bauelemente verwendet wird. Der Stepper nutzt fortschrittliche optische Technologien, einschließlich Quecksilber-Dampf-Lampen, Laser und ultraviolette und nahinfrarote LED-Optik, um eine Reihe von Mustern und Blaupausen genau auf die Oberfläche eines Wafers oder ähnliches Material zu projizieren. Der Wafer-Stepper besteht aus zwei Hauptkomponenten: dem Hauptkörper und dem Optikkopf. Der Hauptkörper umfasst eine vierachsige Ausrüstung, die eine präzise Bewegung in horizontaler, vertikaler und Neigungsrichtung ermöglicht, wenn der Wafer vom Optikkopf hin und her übertragen wird. Sie umfasst eine Grundplatte, einen präzise rotierenden Wafertisch, einen Vorschubmechanismus und einen Optikkopfmover, die alle einen fünfphasigen Hybridmotor verwenden, um eine genaue Positionierung und Übertragung des Wafers sicherzustellen. Der Optikkopf enthält eine Kurzbogenlampe, eine optische Linse, eine Blendenblende und drei optische Spiegel. Es wird verwendet, um den Lichtstrahl der Lampe zu konzentrieren und einen Satz geätzter Muster auf die Waferoberfläche zu projizieren. ASML AT 1150C unterstützt eine Vielzahl von Projektionsprofilen, so dass es für eine Vielzahl von Schaltungstypen verwendet werden kann. Es verfügt über eine automatisierte Ausrichteinheit, die eine Kombination aus numerischen Algorithmen und optischer Positionierung verwendet, um den Optikkopf schnell auf die richtige Fokusposition für jedes Muster oder Blaupause einzustellen. Zusätzlich kann der Stepper für eine Vielzahl von Funktionen wie Schichtbelichtung, Wafer-Check-Referenzpunkte, Waferanalyse und Prozessoptimierung programmiert werden. AT:1150C ist in der Lage, eine Auflösung von 0,5 µm und eine Genauigkeit von 0,3 µm im Chipdesign-Layout zu erreichen, wenn es mit der dedizierten Wafer-Mapping-Messtechnik-Maschine verwendet wird. Es ist mit Laserausrichtungstechnologien wie Mehrfeldausrichtung und fiduzieller Ausrichtung ausgestattet, um Fehler bei der Fehlausrichtung im Chipdesign zu reduzieren. Die Maschine nutzt einen automatisierten Prozesskontrollmonitor, der Waferdicke, Beschichtungen und Musterdefekte messen kann. Mit einer Zykluszeit von nur 12 Sekunden ist ASML AT-1150 C in der Lage, hochwertige Chipdesigns schnell und effizient herzustellen. Die Maschine ist zudem energieeffizient und benötigt nur 0,7 kW Leistung bei Höchstleistung. Sein abgedichteter Körper und sein staubfreies Design machen ihn ideal für Anwendungen, die eine Reinraumbearbeitung erfordern. Zusätzlich ist der Schrittschalter mit Sicherheitssystemen, wie Not-Aus-Schaltern und vergifteten Fensterläden ausgestattet, die im Notfall leicht geöffnet werden können.