Gebraucht ASML AT 1200 #9293661 zu verkaufen

ASML AT 1200
Hersteller
ASML
Modell
AT 1200
ID: 9293661
Wafergröße: 12"
Scanner, 12" 193 nm.
ASML AT 1200 ist eine Art Wafer-Stepper, der bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Sie erzeugt mittels Photolithographie die Muster auf dem Wafer, die dann zur Bildung der verschiedenen Komponenten des integrierten Schaltkreises verwendet werden. Das Gerät besteht aus einem stationären Arm, der das Substrat hält, und einem beweglichen Arm, der die Photomaske oder das Retikel trägt, mit dem die erforderlichen Muster auf den Wafer übertragen werden. ASML AT-1200 verwendet einen Mustergenerator, der eine Reihe von lichtempfindlichen Detektoren verwendet, um die Position des Retikels genau zu steuern. Das gesamte System ruht auf einer Servoeinheit mit geschlossener Schleife, die die Arme genau bewegt. Dadurch kann das Gerät das Retikel schnell über den Wafer scannen, um das Bild genau zu übertragen. Um sicherzustellen, dass die Bilder präzise auf den Wafer übertragen werden, umfasst AT 1200 eine TTL-Maschine (Through-the-Lens-Inspection). Diese besteht aus einer Bildaufnahmekamera, die vor dem Projektionswerkzeug angeordnet ist. Da das Muster auf den Wafer gescannt wird, prüft die Bildkamera das Muster auf Genauigkeit. Wenn irgendwelche Ungenauigkeiten festgestellt werden, werden sie automatisch durch die Intelligenz der Steuerungssoftware des Vermögenswertes korrigiert. AT-1200 verwendet eine Vielzahl von Scanmethoden, einschließlich Zeilenscan, 270-Grad-Scan und Vektor-Scan. Je nach Komplexität des Schaltungsdesigns werden verschiedene Scantechniken eingesetzt, um höchste Genauigkeit zu gewährleisten. Um eine genaue und konsistente Übertragung der Muster auf das Substrat zu gewährleisten, umfasst ASML AT 1200 auch einen programmierbaren Belichtungsmonitor und einen digitalen Bildprozessor. Wie bei anderen ASML-Steppern umfasst ASML AT-1200 eine Reihe von Diagnose- und Wartungstools, mit denen Techniker Probleme mit der Maschine rechtzeitig erkennen und reparieren können. Das Modell bietet Anwendern auch unterschiedliche Automatisierungsstufen, von der manuellen bis zur vollautomatischen Waferbearbeitung. Insgesamt ist AT 1200 ein fortschrittlicher und vielseitiger Wafer-Stepper, der Herstellern eine Vielzahl von Scan- und Bildgebungsoptionen für das Design integrierter Schaltungen bietet. Die Servoausrüstung mit geschlossenem Regelkreis, das TTL-System und der programmierbare Belichtungsmonitor sorgen für eine genaue und konsistente Übertragung von Mustern auf das Substrat. Das Gerät bietet auch eine Reihe von Wartungs- und Diagnosewerkzeugen, um die Maschine in einem maximalen Betriebszustand zu halten. Mit all diesen Merkmalen ist AT-1200 eine ideale Maschine für die Herstellung integrierter Schaltungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor