Gebraucht ASML AT 1200 #9360855 zu verkaufen

ASML AT 1200 ist eine Wafer-Schrittmaschine, eine optische Ausrichtungseinrichtung für die Lithographie zur Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen (ICs). Es verwendet Linsen, Spiegel und andere optische Komponenten, um ein gemustertes Bild auf einem Silizium-Wafer zu belichten. ASML AT-1200 ist auch in der Lage, mehrere Musterschichten in einer einzigen Belichtung zu erzeugen, was den gesamten Herstellungsprozess beschleunigt. AT 1200 verwendet eine Reihe fortschrittlicher Komponenten, um eine genaue, wiederholbare Ausrichtung der auf dem Wafer gemusterten Lithographiemaske zu gewährleisten. Es verwendet zwei synchrone Servo Drive Scanner mit einer Auflösung von 0,1 μ m, um den Wafer und die Maske genau in unabhängige Richtungen zu bewegen. Ein internes Gleichgewichtssystem und ein dreiachsiger Beschleunigungsmesser sind ebenfalls integriert, um Ungleichgewichte oder Neigungen in der Maskenposition zu erkennen und einzustellen, sodass das Gerät schnelle Korrekturen vornehmen kann, ohne die Belichtung zu stoppen. AT-1200 verwendet zwei Optiken, eine Projektionslinse und eine Waferlinse, um das Licht aus der Maske auf den Wafer zu fokussieren. Diese Linsen ermöglichen es, Licht aus der Lithographiemaske mit hoher Genauigkeit auf den Wafer zu projizieren. Darüber hinaus ist eine fortschrittliche Lichtmessmaschine integriert, um für jeden Unterschied in den von der Maske emittierten Leistungsstufen über mehrere Belichtungen einzustellen. Der ASML AT 1200 Wafer Stepper ist auch in Licht-, Luft- und Vakuumsysteme integriert, um eine optimale Ausrichtung und Bedienung des Werkzeugs zu gewährleisten. Die Lichtanlage bietet eine energieeffiziente Beleuchtung und umfasst eine Fotomaske, die für das Schichtdesign jeder integrierten Schaltung angepasst ist, und einen Erreger für die Waferlinse, der den Einfallswinkel des Lichts für eine optimale Belichtung anpasst. Das Luftmodell stellt sicher, dass die innere Umgebung des Wafer-Schrittes frei von potenziell schädlichen Staub- und Schmutzpartikeln ist. Und die Vakuumausrüstung unterhält eine stabile und konsistente Umgebung für eine präzise Maskenausrichtung innerhalb des Systems. Insgesamt ist ASML AT-1200 Wafer Stepper eine fortschrittliche optische Ausrichtungseinheit, die von Halbleiter-IC-Herstellern verwendet wird, um hochwertige integrierte Schaltungen mit wiederholbarer Genauigkeit und Effizienz in kürzester Zeit zu produzieren. Die automatisierten Komponenten gewährleisten eine genaue und konsistente Ausrichtung der Lithographiemaske, während die integrierten Licht-, Luft- und Vakuumsysteme eine optimale Betriebsumgebung gewährleisten.