Gebraucht ASML AT 1250D #9241299 zu verkaufen

ASML AT 1250D wafer stepper ist ein System zur Belichtung von Photoresists auf Siliziumscheiben während des Photolithographie-Prozesses bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet hochpräzise, laserinterferometergesteuerte Scanner sowie eine umfassende Palette von Werkzeugen und Einstellungen, um Ingenieuren und Technikern die genaue und wiederholbare Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente zu ermöglichen. Die Plattform nutzt eine Reihe von Komponenten-Subsystemen, um dieses Leistungsniveau und diese Raffinesse zu erreichen. Um seinen automatisierten Betrieb zu ermöglichen, verwendet der Wafer Stepper bis zu 8 motorisierte Bewegungsachsen, einschließlich X, Y, Theta, Z, Accel und Focus, die verwaltet und integriert werden, um hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das optische Teilsystem des Wafer-Steppers verwendet eine integrierte Linse (bis 8) und einen beweglichen Spiegel, der an einem kugelförmigen Gantry montiert ist, sowie eine Anordnung von Laserdioden und Photodioden. Die Kombination dieser Komponenten und die interferometergesteuerten Scanner des Steppers ermöglichen es Ingenieuren, Photowiderstände auf Halbleiterscheiben genau und konsistent zu strukturieren. Neben den automatisierten Bewegungs- und optischen Subsystemen umfasst die Plattform auch eine ausgeklügelte Human Machine Interface (HMI) Software, die als Bedienerkonsole dient, die es Ingenieuren und Technikern ermöglicht, intuitiv und effizient mit dem Gerät zu interagieren. Das HMI enthält ein Bedienfeld mit mehreren Schaltflächen, mehreren textbasierten Anzeigen, Tastenkombinationen und vorprogrammierten Einstellungen für verschiedene Rezepte und Verfahren. Es erleichtert auch die Integration des Wafer-Steppers mit einer Reihe von Peripheriegeräten, wie Roboterarmen für das präzise Handling von Wafern oder Vision-Systemen für anspruchsvollere Prozessarbeiten. Schließlich enthält das System auch eine Reihe von Umgebungssensoren, die es dem Gerät ermöglichen, seine Innentemperatur, Druckniveaus und Durchflussraten zu überwachen und zu regeln, da diese Parameter je nach Art und Komplexität des Photolithographie-Prozesses erheblich variieren können. All diese Funktionen helfen ASML AT-1250D Wafer Stepper bei der Produktion von integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Komponenten.