Gebraucht ASML AT-605 #9379125 zu verkaufen

ASML AT-605 ist ein Wafer-Stepper, der eine fortschrittliche Scanspaltprojektionsausrichtung verwendet, um sicherzustellen, dass Halbleiterscheiben genau belichtet werden, wenn Lithographie verwendet wird, um Merkmale zu definieren. Das System besteht aus einer 5-stufigen beweglichen Maske, die von motorisierten Aktoren gehalten wird, und einer ausgeklügelten optischen Einheit, die die Waferoberfläche beleuchtet, ausrichtet und freilegt. Die Maschine wurde entwickelt, um eine genaue, schnelle und wiederholbare Belichtung der gesamten Halbleiterscheibe innerhalb einer präzisen Toleranz zu ermöglichen. AT-605 verfügt über eine Präzision 95mm x 95mm Chrom auf Quarzmaske, mit einer Indexieröffnungsgenauigkeit von 0,2 Mikrometer. Das optische Projektionswerkzeug liefert eine Abbildungsgenauigkeit von 0,4 Mikrometern bei einer Haltetoleranz von 0,22 Mikrometern. Die Anlage kann einen Waferdurchsatz von bis zu 13 Millionen Wafern pro Stunde erreichen und ist damit ein sehr effektives und effizientes Produktionswerkzeug. ASML AT-605 enthält ein Bildaufnahmemodell, das eine schnelle und präzise Ausrichtung der Waferoberfläche ermöglicht. Das Gerät besteht aus zwei CCD-Kameras, einem Laserausrichtungsstrahl und einem Projektionsbildsystem. Die CCD-Kameras erfassen das Bild der Waferoberfläche, während der Laserausrichtungsstrahl verwendet wird, um Änderungen in der Position des Wafers zu überwachen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer in der richtigen Ausrichtung exakt belichtet wird. Die Projektionsabbildungseinheit bildet dann das belichtete Bild auf die Maske ab. Die Maschine ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die intuitiv und benutzerfreundlich gestaltet sind. Dazu gehören eine grafische Benutzeroberfläche, eine automatisierte Maskenzentrierungsfunktion sowie eine programmierbare Fokus- und Belichtungssteuerung. Das Tool unterstützt auch Dateneingaben wie Materialstärke, Belichtungsdauer und Belichtungsindex. AT-605 bietet den Komfort eines einzigen Betriebsmittels mit automatischer Montage und Ausrichtung. Das Modell bietet auch Zugang zu einer breiten Palette von Lithographiemodellen, darunter bis zu fünf zu jeder Zeit. Schließlich ist ASML AT-605 sehr vielseitig, da es verwendet werden kann, um eine Vielzahl von Wafergeometrien zu verarbeiten, von quadratischen bis zu runden und unregelmäßigen Formen.