Gebraucht ASML AT-850 #9193537 zu verkaufen

ASML AN - 850 ist eine Schritt-Hopräzisionsoblate, der in allen Stufen des Halbleitergerätherstellungsprozesses verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine umfassende Plattform zur Verfügung zu stellen, die eine präzise Musterung und On-Product-Tests ermöglicht. ASML AT 850-Geräte verwenden eine Kombination fortschrittlicher Technologien, einschließlich Lithographie, Retikelpositionierung, Substratausrichtung, Heizung und Kühlung und Bühnenbewegung, um hochkomplexe Strukturen auf Halbleitersubstraten zu schaffen. Das siliziumbasierte Lithographiesystem des Steppers ist mit einer beeindruckenden Auflösung von 5 nm ausgestattet und ermöglicht die Replikation komplexer Schaltungsmuster. Das Gerät ist in der Lage, Muster auf vier Retikeln in einer einzigen Ausrichtungsmarke genau zu belichten und abzubilden, was es zu einer guten Wahl für die Serienproduktion macht. Die Stufenbewegungsmaschine des Schrittschalters verfügt über fortschrittliche Motoren mit einer Positionierauflösung von 2,5nm, wodurch das Gerät das Substrat vor der Belichtung genau unter dem Retikel positionieren kann. Mit einem elektro-thermischen Aktor wird sichergestellt, dass die Substrattemperatur während des Belichtungsprozesses gleichmäßig und stabil ist. Diese thermische Stabilisierung trägt dazu bei, Fehler zu minimieren, die durch temperaturbedingte Schwankungen in der Leistung des Wafer-Schrittes verursacht werden. Das reflektierende Retikel-Positionierwerkzeug behält die exakte Orientierung des Retikels bei und sorgt so für die genaue Projektion des Beleuchtungsbildes auf das Substrat. Der Stepper ist außerdem mit einem Musterausrichtungsgut ausgestattet, das dafür sorgt, dass die Bühnenposition jederzeit genau auf das Retikel ausgerichtet ist. Schließlich sind die Heiz- und Kühlsysteme wesentliche Komponenten im Wafer-Stepper. Ein hochpräzises Heizmodell wird verwendet, um die Temperatur des Substrats während des Herstellungsprozesses zu steuern, und eine Kühleinrichtung bringt das Substrat nach dem Belichtungsprozess schnell auf eine akzeptable Temperatur. Insgesamt ist AT-850 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der hervorragende Präzision und Serienproduktionsmöglichkeiten bietet. Die Kombination aus präziser Retikelpositionierung, Substratausrichtung, Wärmemanagement und Bühnenbewegung macht es zu einer guten Wahl für hochkomplexe Strukturen auf Halbleitermaterialien.