Gebraucht ASML AT-850C #9235474 zu verkaufen

ASML AT-850C ist ein Wafer-Stepper für die Halbleiterindustrie. Dieses Gerät wird typischerweise in Anwendungen wie hochpräziser Lithographie zur Herstellung von Halbleiterchips verwendet. Das Design von ASML AT850C verfügt über eine inkohärente Beleuchtungseinrichtung, die Linsenkonfigurationen verwendet, die dem gewünschten Muster entsprechen. Dieses System besteht aus einer automatischen Ausrichteinheit, einer hochauflösenden Abbildungsoptik, einer präzisen Mehrzonenstufe und einem speziellen Waferhalter. Die automatisierte Ausrichteinheit von AT:850C ermöglicht eine Echtzeit-Ausrichtungsvalidierung für die Strukturierung des Gerätes. Dies geschieht durch Erfassung verschiedener Parameter wie Lageverschiebung, Rotationsversatz, Verzerrung und Intensität. Darüber hinaus ist ASML AT 850 C in der Lage, bis zu 8 unabhängige Muster parallel zu verarbeiten und gleichzeitig hohe Genauigkeit und Durchsatz zu erhalten. Die hochauflösende Abbildungsoptik von AT-850C ermöglicht eine sehr präzise Abbildung der gewünschten Muster. Die Objektivkonfigurationen werden mit hoher Genauigkeit beibehalten und können schnell auf wechselnde Bedingungen eingestellt werden. Diese Funktion ermöglicht eine Manövrierfähigkeit und eine geringe Photolithographie-Marge, was zu einer höheren Produktionsausbeute führt. Die Waferstufe von AT 850 C bietet und x, y Auflösung von bis zu 0,1 micron, und z Auflösung bis 25 nm. Diese hochpräzise Stufe ermöglicht in jeder Zone einen kleinen, aber aufgelösten Abbildungsbereich. Dies ermöglicht auch eine allgemeine Miniaturisierung der Aggregatkomponenten. Darüber hinaus besitzt die Waferstufe einen großen, flachen und glatten Tisch für genaue Bewegungen des Wafers. ASML AT:850C ist auch mit einem Waferhalter ausgestattet, der einen schnellen und einfachen Austausch für verschiedene Wafergrößen ermöglicht. Dieser Waferhalter bietet eine sichere Lappenmaschine, um Wafer präzise durch den Produktionsprozess vorzuschieben. Weiterhin ist diese Vorrichtung mit einer Neigungs- und einer Winkelbasis zur Neigungskorrektur integriert. Die Kippbasis arbeitet mit einer Genauigkeit von 1 Bogensekunde zur Erhöhung der Prozesseffizienz. Insgesamt ist AT 850C ein vielseitiger Wafer-Stepper mit präziser Optik und Staging-Fähigkeit. Dieses Gerät bietet eine hochpräzise Umgebung zur Herstellung kostengünstiger Halbleiterchips. ASML AT 850C ist mit modernen Designwerkzeugen und Fähigkeiten ausgestattet, die es für verschiedene Lithographieanwendungen geeignet machen.