Gebraucht ASML AT-850C #9256715 zu verkaufen

ASML AT-850C ist eine fortschrittliche, stepperbasierte Lithographieausrüstung von ASML. Es verfügt über ein Scanning Exposure System (SES), das das schnelle und genaue Scannen großer Felder in hoher Auflösung ermöglicht. ASML AT850C wird zur Herstellung von Kleinschaltungen wie VLSI, Halbleitern und integrierten Schaltungen für Unterhaltungselektronikprodukte eingesetzt. Das Herzstück der Einheit ist ASML proprietäre LTS 800 Scanning Exposure Machine, entwickelt, um Präzision und Flexibilität zu bieten. Das Tool bietet verbesserte Bildgebungsleistung, verbesserte Geschwindigkeit, verbesserte Bildfeldgröße und verbesserte Bildqualität. Das SES verfügt über ein Scanfeld von 12 Zoll mit einer maximalen Auflösung von 65 nm und einem Dynamikbereich von 16 Bit. Das Exposure Control Asset (ECS) wurde entwickelt, um die höchsten Betriebsstandards für die Einbindung mehrerer Lithographieschichten innerhalb derselben Exposition zu erfüllen. AT:850C bietet ein fortschrittliches adaptives Ausrichtungsmodell, um die Genauigkeit der Belichtung zu erhöhen. Das Gerät ist in der Lage, die Subpixelgenauigkeit von 0,5 μ m beizubehalten und kann Verzerrungen durch Vibration, Neigung und ungleichmäßige Filmdicke kompensieren. Darüber hinaus befindet sich der Auto Exposure Analyzer (AEA) innerhalb des Systems, um detaillierte Ausrichtungsinformationen wie Feldgrößen, Belichtungswerte, Schussgröße und Kantenpositionen bereitzustellen. Dies ist zusätzlich zur Signaturwellenformüberwachung, um eine langfristige Prozessstabilität zu gewährleisten. AT850C ist auch mit mehreren Umgebungssensoren ausgestattet, die das Gerät vor Staubpartikeln schützen, die den Bildgebungsprozess stören können. Diese Sensoren umfassen einen Temperatursensor, einen Hochstrommonitor und einen Feuchtigkeitsmonitor. Dadurch wird sichergestellt, dass die Maschine ordnungsgemäß gegen Schmutz und Verunreinigungen abgedichtet ist und die Maschine in einer sauberen Umgebung arbeiten kann. Die Maschine enthält auch ein fortschrittliches Kühlwerkzeug, um Zuverlässigkeit und Langlebigkeit zu gewährleisten. Dies wird erreicht, indem gekühlte Flüssigkeit und Luft innerhalb der Anlage zirkuliert werden, wodurch die Leistung des Belichtungsmodells verbessert und die im Betrieb abgegebene Wärme eliminiert wird. Abschließend ist AT 850C ein hochentwickelter Wafer-Stepper, der zur Herstellung von High-End-integrierten Schaltungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine Scanning Exposure Equipment (SES) und ein Exposure Control System (ECS) für präzise Abbildungsprozesse. Es kommt auch mit einer adaptiven Ausrichteinheit und einem Signatur-Wellenform-Monitor, um eine hohe Genauigkeit und langfristige Prozessstabilität zu erhalten. Schließlich enthält die Maschine ein Staubschutzwerkzeug und Kühlmittel für einen optimalen und zuverlässigen Betrieb.