Gebraucht ASML AT-850C #9256716 zu verkaufen

ASML AT-850C ist ein in der Halbleiterherstellung verwendeter Wafer-Stepper. Es ist eine hochdurchsatzreiche, hochpräzise optische Lithographieausrüstung, die Wafer schnell vordefinierten Mustern aussetzt. Bei der Chipherstellung können mit ASML- AT850C Muster bis zu 5 Nanometer belichtet werden. Das System besteht aus zwei Teilen: einer Konsole und einer POE-Kammer. Die Konsole enthält die Musterquelle (z.B. ein MEMS-Gerät), die Lichtquelle, die Optik und die zugehörige Elektronik, die zur Steuerung des Geräts benötigt wird. Die POE-Kammer enthält alle beweglichen Komponenten - die Stufe, die den Wafer in die richtige Position bringt, die Motorbaugruppe zum Bewegen der Bühne und das Spannfutter, das den Wafer hält. Die optischen Komponenten von AT:850C bestehen aus mehreren hochpräzisen Komponenten, wie einem Kollimator, einem Maskenausrichter, einer Projektionslinse und einem Scanner. Der Kollimator leitet das Licht auf den Masken-Aligner, der das Muster hält. Die Projektionslinse vergrößert dann das Muster, bevor sie auf den Wafer projiziert wird. Der Scanner wird verwendet, um den Wafer an die entsprechende Position zu bringen, um das Muster zu erfassen. ASML AT 850 C verfügt auch über mehrere erweiterte Funktionen für verbesserte Genauigkeit und Durchsatz. Es verwendet eine Zweikopf-Kristall-Scanmaschine für höhere Auflösung und schnellere Scangeschwindigkeiten. Das Werkzeug verfügt auch über ein Ausrichtungselement, das ein Lasermessmodell verwendet, um das Retikel und den Wafer exakt relativ zueinander zu positionieren. ASML AT:850C enthält auch eine Reihe weiterer Funktionen, um Präzision und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, einschließlich einer Autofokus-Fähigkeit und einer Kantenerkennungsausrüstung, um dem System Rückmeldung zur Waferausrichtung zu geben. Das Gerät enthält auch einen Ausrichtungsmonitor, um eine genaue Maskenausrichtung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist AT 850C in der Lage, den Wafer bis zu 1 Mikron genau zu positionieren und kann Wafer bis zu 400 mm Durchmesser ohne oder mit geringen Verzerrungen verarbeiten. Die Maschine ist in der Lage, extrem genaue Belichtungen für kleine Geometrien und können Auflösungen von weniger als 1 Nanometer zu erreichen. Abschließend ist ASML AT 850C ein hochpräziser Wafer-Stepper mit hohem Durchsatz, der den Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses gerecht wird. Seine erweiterten Funktionen gewährleisten präzise, wiederholbare Belichtungen in einer Vielzahl von Geometrien und Auflösungen. Die Dual-Head Crystal Scanning Asset, das Ausrichtungsmodell und die Autofokus-Funktionen des Tools bieten zuverlässige, genaue Belichtungen konsistent.