Gebraucht ASML AT-850C #9269680 zu verkaufen
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ID: 9269680
Stepper, 12"
SMIF
SECE I / II
Reticle size: 6"
Wafer type: Notch
Left inline flow
FOUP Left type: WH
MK V Type: RH Library
PPD Type: PPD2 + IRL
BMU Type: Standard
Light source: CYMER
Scan speed: 320 mm/sec
Chuck
2004 vintage.
ASML AT-850C ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um mikroskopische Muster auf der neuesten Generation von Halbleiterscheiben der Halbleiterindustrie genau und präzise zu definieren. Durch die Projektion von Licht auf dünne Schichten von auf dem Wafer abgeschiedenem Photolack können präzise Muster erzeugt werden, die die Basis von Silikatkomponenten bilden, die in integrierten Schaltungen verwendet werden. ASML AT850C ist ein vollautomatischer Scanner, der das gesamte Waferfeld in einer Drehung abtastet, so dass das Bild in einem Schuss auf die gesamte Oberfläche des Wafers projiziert werden kann. Dies ermöglicht eine effiziente und konsistente Photolithographie. Dieses System verfügt über eine Stufengröße von 350mm, die es ermöglicht, mehrere verschiedene Wafer gleichzeitig auf seine Bühne zu bringen und so mehrere Verarbeitungsläufe zu ermöglichen. AT:850C wurde mit erweiterten Funktionen für Instanzen mit höherem Durchsatz entwickelt. Dazu gehört ein integrierter, robuster Litho-Inspektor, der Muster, Defekte und andere lithographische Probleme während der Produktion überwachen kann. Der Wafer-Stepper verfügt über erweiterte Stufen, die eine extrem strenge Kontrolle der Ausrichtung auch für die kleinsten Funktionen bieten. Die Stufen können auch Prozesse mit zwei unterschiedlichen Drehzahlen durchführen, was dem Benutzer eine bessere Kontrolle über mehrere Prozesse gibt. ASML AT 850C verfügt auch über eine Reihe von Beleuchtungsverfahren, darunter Laser Direct Imaging (LDI) und Photolithography Imaging (PI). Mit einem dieser Abbildungsverfahren können hochauflösende Bilder erzeugt werden, indem verschiedene Bereiche des Wafers unterschiedlicher optischer Strahlung ausgesetzt werden. Funktionen wie winzig bis 0,35 Mikrometer können aufgelöst werden, so dass AT 850 C höchst komplizierte und detaillierte Silizium-Komponenten produzieren kann. ASML AT 850 C verfügt auch über fortschrittliche synchrone und asynchrone Bewegungssteuerungen und Dynamiken, die extrem schnelle Scangeschwindigkeiten und Wiederholbarkeit ermöglichen. Das System basiert auf einer modularen Plattform, d.h. es kann auf spezifische Anwendungen und Prozesse zugeschnitten werden und bietet dem Anwender volle Flexibilität. Schließlich ist AT850C ein extrem robuster, robuster und zuverlässiger Stepper, der ständig strengen Qualitätssicherungsprüfungen unterzogen wird, um sicherzustellen, dass er immer bei Höchstleistung läuft. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Produktionskapazitäten ist es einer der technologisch fortschrittlichsten Waferstepper, die heute auf dem Markt erhältlich sind.
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