Gebraucht ASML AT-850C #9293663 zu verkaufen

ASML AT-850C ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der 193-nm-Schrittanwendungen unterstützt. Es wurde entwickelt, um sehr präzise, effektive und konsistente Lithographieergebnisse zu erzielen. ASML AT850C ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen wie EUV-Geschäftsanwendungen, Maskenbau und Lithographieanwendungen konzipiert. AT:850C Wafer-Stepper ist mit einer minimalen numerischen Apertur von 0,76 und einer maximalen vollständigen numerischen Apertur von 0,80 zur Erreichung der Lithographie ausgelegt. Seine Beleuchtungseinrichtung, die auf einer alternierenden polarisierten diffraktiven optischen Elementse basiert, ermöglicht eine polarisationsabhängige Beleuchtung mit polarisierter Beleuchtung für konsistente Mustertreue. Der Stepper ist auch mit hochentwickelten und präzisen Positionierungsmechanismus ausgestattet, der entworfen ist, um den Wafer mit optischen Komponenten mit einer Präzision von 1 Mikron auszurichten, um eine genaue Schrittausrichtung und Fokusleistung zu erreichen. ASML AT 850C wird von einem hybriden magnetischen und linearen Direktantrieb-Abtastsystem angetrieben, das die Hysterese in der Abtasteinheit eliminieren soll. Es unterstützt auch schnelle Abtastgeschwindigkeit und mit einer konstanten Beschleunigung und Verzögerung, um konstant scharfe Abbildungsergebnisse auf der Probe zu gewährleisten. Es wird von einem leistungsstarken Resonanz-Subsystem angetrieben, das unerwünschte Vibrationen reduziert und konstante Bildergebnisse liefert. Die Oblate Schrittunterstützungen eine breite Reihe von Eigenschaften einschließlich einer hohen Präzision hat doppelspurige Maske aligner, eine erhöhte Vier-Quadranten-Feldübergreifenauswahl, besser darstellende Ergebnisse, eine erhöhte Mehrspurenautofokuskalibrierung zu bieten, optischen Maschinende-Flügel, eine automatisierte Schrittreinheitskontrolle verbessert, und hat Beleuchtungsstabilität verbessert. Der Stepper enthält auch eine federnde Ausrichtungsfunktion, die zur Ausrichtung mehrerer Belichtungen zur Verbesserung der Genauigkeit konzipiert ist, und eine algorithmusfähige Selbstausrichtungsfunktion zur Vermeidung von Fehlstellungen. Schließlich ist AT850C mit einem augensicheren geschlossenen Laser ausgestattet, der die Sicherheit durch ständige Überwachung des Laserstrahls gewährleistet. Darüber hinaus umfasst der Stepper auch kundenspezifische Sichtsysteme wie Kontrasterkennung, zusätzliche kreative Beleuchtungsmuster und eine verbesserte Beleuchtungssymmetrie-Option. Insgesamt ist ASML AT:850C ein hochentwickelter und anspruchsvoller Wafer-Stepper, der konsistente, präzise und präzise Lithographieergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen liefert.