Gebraucht ASML AT-850C #9404356 zu verkaufen
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ID: 9404356
System, 8"-12"
SMIF / FOUP
CYMER ELS 7600 Laser
AOM Laser
Excimer laser
LMA Module
Bottom module
MCM (Machine Cabinet Module)
Reticle, 6"
Left in-line
Wafer stage
Reticle stage
Wafer handler
Reticle handler
Charcoal filter
Side channel blower
Air Control Cabinet (ACC)
(2) Covering panels
Frame parts: MB, Mcab, RH WH
Process module:
Composition / Type
PM1 / Light source
PM2 / Alignment
PM3 / Stage
Cabinet:
MDC
LCWC
MCWC
Exhaust cabinet
Spare parts included
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Operating system: UNIX
2004 vintage.
ASML AT-850C ist ein Stepper, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es kann eine Vielzahl von Geräten, wie integrierte Schaltungen und Speichergeräte produzieren. ASML AT850C ist ein fortschrittlicher Stepper mit großer Blende, hoher Auflösung und hohem Durchsatz. Es ist ein I-Line-Stepper und kann auch mit KrF-Lithographie verwendet werden. AT:850C kombiniert ein hochpräzises Objektivdesign und eine fortschrittliche mehrachsige Ausrichtungsausrüstung, die es Anwendern ermöglicht, eine hohe Auflösung und eine genaue Ausrichtung kritischer Abmessungen (CD) für die Geräteherstellung zu erreichen. Die Maschine hat auch eine lange Tiefenschärfe (DOF), die die Abbildung aller Schichten eines Gerätes mit minimalen Neigungsfehlern ermöglicht. Dadurch eignet sich ASML AT:850C zur Herstellung von Hochleistungsgeräten mit hoher Ausbeute. AT-850C ist ein Hochtemperatur-Vakuum-Stepper, der es Anwendern ermöglicht, die Maschine in einer stabilen Umgebung mit guter Prozesssteuerung zu betreiben, was den Anwendern eine konstante Bildgebungsleistung bietet. Es ist auch mit einem sehr einheitlichen Lichtstrahl-Management-System ausgestattet, das für die Lithographie-Leistung und Belichtungsgenauigkeit erforderlich ist. ASML AT 850C verfügt über eine umfassende Software-Suite, die Anwendern bei der automatisierten Ausrichtung und Belichtung sowie der Datenverwaltung hilft. Auf diese Weise können sich Anwender schnell und präzise an die wechselnde Waferumgebung anpassen und sowohl den Durchsatz als auch den Geräteertrag optimieren. Die Maschine verfügt außerdem über eine Multimodus-Belichtungseinheit, die den Durchsatz maximiert und gewährleistet, dass Geräte so schnell und genau wie möglich belichtet werden. AT 850C ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Geräteherstellung. Seine große Blende, hohe Auflösung und hoher Durchsatz machen es ideal für die Herstellung von Hochleistungsgeräten. Seine mehrachsige Ausrichtmaschine und Software-Suite bieten Benutzern eine detaillierte Kontrolle über die Gerätebelichtung, wodurch hohe Geräteerträge und genaue Gerätebilder gewährleistet werden.
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