Gebraucht ASML AT-850D #293597577 zu verkaufen

ASML AN - 850D ist eine 4-Achsen-Präzisionslinsenanordnungsausrüstung für das optische Steindruckverfahren. Es ist ein vollautomatisches, tiefes ultraviolettes (DUV) 157nm Immersions-Lithographiesystem, das entwickelt wurde, um integrierte Schaltkreisprodukte (IC) herzustellen. Das Gerät wurde entwickelt, um die Anforderungen der führenden Halbleiterindustrie zu erfüllen, um die beste Prozesssteuerung und Betriebskosten zu gewährleisten. Dieser Stepper hat ausgezeichneten Durchsatz und Leistung, unschätzbare Eigenschaften für Produktionslithografen. ASML AT850D verfügt über viele Funktionen, die eine optimale Leistung bieten. Es ist mit einem großen Arbeitsbereich ausgestattet, wodurch Waferausrichtung und Substratverschiebung einfach sind. Es ist mit einer erweiterten Software-Suite ausgestattet, die erweiterte Mustererkennung und lithografische Operationen bietet. Darüber hinaus ermöglicht die Step-and-Repeat-Funktion eine schnelle Musterreplikation, wodurch der Lithographieprozess erheblich beschleunigt wird. AT 850D verfügt über eine einzigartige vierachsige Maschine, die mit einem präzisen beweglichen Tisch und einem XY CCD-Messtechnikwerkzeug gefertigt ist. Diese XY CCD Messtechnik wird für die Overlay-Messung und Fehlerinspektion verwendet. Mit seiner hochgenauen Linsennavigation und Ausrichtung kann der Stepper die Koordinaten zwischen verschiedenen Musterfeldern genau verschieben, ohne den Wafer neu ausrichten oder neu verbrennen zu müssen. Dieses Merkmal trägt zur Verbesserung der Waferuniformität bei, was bei Halbleiterherstellungsprozessen von entscheidender Bedeutung ist. AT-850D verfügt über ein integriertes Vakuum-Load-Lock-Modell, das eine automatisierte, sichere Schnittstelle zwischen einem Wafer-Transfer-Roboter und dem Stepper bietet, die vollständig in den ASML-Lithographie-Workflow integriert ist. Es verfügt auch über eine HIPAC-Ausrüstung (High-Pressure Aberration Correction), die dazu beiträgt, optische Verzerrungen zu reduzieren und eine hochpräzise Strukturierung auch über kleine Funktionen hinaus zu ermöglichen. ASML AT 850D bietet dank vielseitiger Softwareprogramme auch mehrere Möglichkeiten zur Prozessanpassung und -steuerung. Beispielsweise verfügt es über erweiterte lithographische Simulationsfunktionen, so dass Prozessingenieure Belichtungen simulieren können, um optimale Einstellungen zu bestimmen. Es ermöglicht auch die gemeinsame Nutzung von Echtzeit-Daten zwischen dem Stepper und den zugehörigen Prozesswerkzeugen. Insgesamt ist AT 850 D ein zuverlässiger und leistungsfähiger Wafer-Stepper, der eine erstklassige Lithographie für die IC-Fertigung ermöglicht. Dank seiner vielen Funktionen kann die optische Lithographie schnell, sicher und präzise hergestellt und verwaltet werden. Aus diesen und vielen anderen Gründen ist ASML AT 850 D eine weit verbreitete Maschine für die Lithographie in der Halbleiterindustrie.